[发明专利]一种压阻式薄膜压力传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种压阻式薄膜压力传感器，其特征在于，包括导电片、石墨烯导电片、位于所述导电片和所述石墨烯导电片之间的绝缘片，其中，所述石墨烯导电片包括相互断开的第一石墨烯导电单元和第二石墨烯导电单元。

2.如权利要求1所述的压阻式薄膜压力传感器，其特征在于，所述绝缘片的厚度取值范围为50微米至200微米，包括端点值。

3.如权利要求1或2所述的压阻式薄膜压力传感器，其特征在于，还包括：

位于所述导电片背离所述绝缘片的表面的第一保护层；

和位于所述石墨烯导电片背离所述绝缘片的表面的第二保护层。

4.如权利要求3所述的压阻式薄膜压力传感器，其特征在于，所述导电片为金属导电片。

5.如权利要求4所述的压阻式薄膜压力传感器，其特征在于，所述绝缘片为聚氨酯绝缘片。

6.如权利要求5所述的压阻式薄膜压力传感器，其特征在于，所述压阻式薄膜压力传感器整体呈圆形薄片状。

7.一种压阻式薄膜压力传感器制作方法，其特征在于，包括：

制备导电片；

制备绝缘片；

以聚亚酰胺为原材料，按照预设图案制备石墨烯导电片，所述石墨烯导电片包括相互断开的第一石墨烯导电单元和第二石墨烯导电单元；

将所述导电片、所述绝缘片、所述石墨烯导电片依次层叠，形成压阻式薄膜压力传感器。

8.如权利要求7所述的压阻式薄膜压力传感器制作方法，其特征在于，所述制备绝缘片包括：

利用静电纺丝技术，制备所述绝缘片。

9.如权利要求8所述的压阻式薄膜压力传感器制作方法，其特征在于，所述制备导电片包括：

将金属置于注塑机中，设定注塑参数，所述金属熔融后注射到预设模具中，得到所述导电片。

10.如权利要求7至9任一项所述的压阻式薄膜压力传感器制作方法，其特征在于，所述以聚亚酰胺为原材料，按照预设图案制备石墨烯导电片包括：

采用激光烧结技术，以聚亚酰胺为原材料，按照所述预设图案制备所述石墨烯导电片。