[发明专利]一种PVD柔性导电膜、制备方法及其透过纳米效应生成微电路的方法

说明书

本发明公开了一种PVD柔性导电膜、制备方法及其透过纳米效应生成微电路的方法，一种PVD柔性导电膜透过纳米效应生成微电路的方法，包括以下步骤：(1)将制成的柔性导电膜的导电层一面附着在需要加工的线路产品的线路表面；(2)用激光器配备的电荷耦合元件(CCD)探测到成品线路上损环或缺失的线路；(3)将需要生成的线路图输入激光器的设备中；(4)使用激光器使柔性导电膜的导电层面按线路图激发出离子附着在线路产品上相应的线路位置上，从而对成品线路上损环或缺失的线路进行修复。不需要使用模具，只需要在激光器设备中输入需要生成的线路图，可以直接生成异型产品的线路且可以对不良线路进行修复。

技术领域

本发明涉及PVD纳米效应技术领域，具体为一种PVD柔性导电膜、制备方法及其透过纳米效应生成微电路的方法。

背景技术

微电路指具有高密度等效电路元件和部件，并可作为独立件的微电子器件，微电路可以是微型组织件、集成电路或集成微电路。

目前，现有的微电路生成技术是通过模具、模板生成线路和集成电路，做不了异型电路，且在成品线路遇到某个线路点或某段线路损坏，整个成品线路都会报废，成本昂贵。

发明内容

本发明的目的在于：针对上述现有的微电路生成技术是通过模具、模板生成线路和集成电路，做不了异型电路，且在成品线路遇到某个线路点或某段线路损坏，整个成品线路都会报废，成本昂贵的问题，本发明提供一种PVD柔性导电膜、制备方法及其透过纳米效应生成微电路的方法。

一种PVD柔性导电膜，包括基层和沉积在基层上的导电层。

进一步的，所述基层的材料是氧化锌、氧化铟锡、纳米碳管或石墨烯。

进一步的，所述导电层的材料是银、金、铜和锡中的一个或几个。

一种PVD柔性导电膜的制备方法，包括以下步骤：

(1)使用物理气相沉积(PVD)真空蒸镀法，在真空环境下，使基层材料蒸发成气相沉积在基体上形成基层；

(2)将导电材料熔解混合；

(3)使用物理气相沉积(PVD)溅射镀膜法，在真空环境下，通过电压和磁场的共同作用，以被离化的惰性气体离子对导电材料进行轰击，使导电材料以离子的形式被溅射出来并沉积在基层上形成导电层，从而制备出柔性导电膜。

进一步的，所述步骤(1)中蒸发所用的蒸发源是电阻加热、电子束加热、激光加热、高频感应加热或电弧加热。

进一步的，所述步骤(3)中充入氩(Ar)气，使氩气进行磁控辉光放电，氩原子(Ar)电离成氩离子(Ar⁺)。

进一步的，所述步骤(3)中真空度为10^-2～10Pa，电压为300～1000V负高压，离子轰击时间为6～30min。

一种PVD柔性导电膜透过纳米效应生成微电路的方法，包括以下步骤：

(1)将制成的柔性导电膜的导电层一面附着在需要加工的线路产品的线路表面；

(2)用激光器配备的电荷耦合元件(CCD)探测到成品线路上损环或缺失的线路；

(3)将需要生成的线路图输入激光器的设备中；

(4)使用激光器按输入的线路图聚焦点打射在附着在线路产品上的柔性导电膜的基层面，使柔性导电膜的导电层面按线路图激发出离子附着在线路产品上相应的线路位置上，从而对成品线路上损环或缺失的线路进行修复。

进一步的，所述步骤(4)中所用激光器为额定功率20W的激光器。