[发明专利]一种图像传感器、图像传感器的形成方法及电子设备

说明书

本申请实施例公开了一种图像传感器、图像传感器的形成方法及电子设备，其中，图像传感器包括位于衬底之上的像素阵列；其中，所述像素阵列包括至少三个像素单元，所述像素单元的形状为非四边形；所述像素单元用于接收光信号，并将所述光信号转换成电信号；分布于所述像素单元之间的浮置扩散区，用于存储所述电信号。

技术领域

本申请实施例涉及半导体器件及其制造领域，涉及但不限于一种图像传感器、图像传感器的形成方法及电子设备。

背景技术

图像传感器是将光信号转换成电信号的器件。近年来，随着计算机和通信产业的快速发展，在诸如数字照相机、便携式摄像机、游戏机、安保摄像机、医用微型摄像机和机器人等的各种设备中，对于图像传感器的应用范围逐渐增大，且对于图像传感器的性能也有了更大的需求。

图像传感器感光效果是图像传感器最主要的性能之一。对于图像传感器来说，其像素单元的尺寸越大，感光效果越好。目前通常是通过增加单个像素单元尺寸参数来扩大像素阵列的总面积。

但是，目前的像素单元，以及扩大像素单元尺寸参数以提高像素阵列总面积的方案，均不能有效提高图像传感器像素单元的面积利用率。

发明内容

有鉴于此，本申请实施例提供一种图像传感器、图像传感器的形成方法及电子设备，能够提高图像传感器像素单元的面积利用率。

本申请实施例的技术方案是这样实现的：

第一方面，本申请实施例提供一种图像传感器，包括：

位于衬底之上的像素阵列；其中，所述像素阵列包括至少三个像素单元，所述像素单元的形状为非四边形；所述像素单元用于接收光信号，并将所述光信号转换成电信号；

分布于所述像素单元之间的浮置扩散区，用于存储所述电信号。

在一些实施例中，每预设数量的像素单元共用同一浮置扩散区。

在一些实施例中，所述像素阵列具有蜂窝状结构；对应地，所述像素单元的形状为六边形。

在一些实施例中，所述像素单元包括第一颜色像素单元、第二颜色像素单元和第三颜色像素单元；

所述第一颜色像素单元、所述第二颜色像素单元和所述第三颜色像素单元形成一个像素单元集合；每一像素单元集合对应一个浮置扩散区。

在一些实施例中，所述像素阵列具有不规则形状的边界，且靠近所述边界的第一区域内的像素单元的结构，与远离所述边界的第二区域内的像素单元的结构相同。

在一些实施例中，所述像素阵列具有规则形状的边界，且靠近所述边界的第一区域内的像素单元为无功能像素单元。

在一些实施例中，所述图像传感器还包括：与每一所述像素单元连接的传输栅；

所述传输栅，用于将所述像素单元所产生的电荷传输至所述浮置扩散区，以实现存储所述电信号。

第二方面，本申请实施例提供一种图像传感器的形成方法，包括：

在衬底上形成像素阵列；其中，所述像素阵列包括至少三个像素单元，所述像素单元的形状为非四边形，所述像素单元用于接收光信号，并将所述光信号转换成电信号；

通过离子注入工艺，在所述像素单元之间形成浮置扩散区，以存储所述电信号。

在一些实施例中，所述在衬底上形成像素阵列，包括：

获取待刻蚀图像传感器芯片；

在所述待刻蚀图像传感器芯片上形成具有蜂窝状结构的光掩膜层；

基于所述光掩膜层，对所述待刻蚀图像传感器芯片进行刻蚀，形成具有蜂窝状结构的像素阵列。