[发明专利]一种微位移驱动机构

权利要求书

1.一种微位移驱动机构，其特征在于，包括框架(27)以及横向设置在所述框架(27)中的第一柔性铰链机构(2)和第二柔性铰链机构(8)，所述第一柔性铰链机构(2)的第一端固定连接在所述框架(27)上、第二端可拆卸固定连接在所述框架(27)上，所述第二柔性铰链机构(8)位于所述第一柔性铰链机构(2)下方且固定连接在所述框架(27)上，第一驱动器(1)的上端相对所述框架(27)固定、下端接触所述第一柔性铰链机构(2)，第二驱动器(6)的上端相对所述第一柔性铰链机构(2)固定、下端接触所述第二柔性铰链机构(8)，所述第二驱动器(6)的竖直轴线位于所述第一驱动器(1)的竖直轴线与所述第一柔性铰链机构(2)的第二端之间，所述第二柔性铰链机构(8)的下侧设有用以实现位移输出的刀具(10)。

2.根据权利要求1所述的微位移驱动机构，其特征在于，所述第一柔性铰链机构(2)包括竖向延伸的固定连块(28)和横向延伸的动态连杆(3)，所述动态连杆(3)包括连接端和自由端，所述固定连块(28)和所述动态连杆(3)的连接端之间设有柔性铰链，所述固定连块(28)与所述框架(27)固定连接。

3.根据权利要求2所述的微位移驱动机构，其特征在于，还包括相对所述框架(27)固定的用于供限位滑块(4)滑动的限位滑块导轨(21)，所述限位滑块(4)设有可供所述动态连杆(3)的自由端贴合的槽口以实现所述第一柔性铰链机构(2)第二端的可拆卸固定连接。

4.根据权利要求2所述的微位移驱动机构，其特征在于，所述动态连杆(3)上设有半球状的第一限位槽(15)，所述第一限位槽(15)的凹槽半径大于所述第一驱动器(1)的底端半径。

5.根据权利要求1所述的微位移驱动机构，其特征在于，所述第二柔性铰链机构(8)包括上下平行设置的设有柔性铰链的横向延伸段和设于所述横向延伸段之间、用以实现所述第二驱动器(6)向所述刀具(10)传递进给位移的动块(7)。

6.根据权利要求5所述的微位移驱动机构，其特征在于，两个所述横向延伸段上分别均匀设置四处圆弧半径大小相同的所述柔性铰链。

7.根据权利要求5所述的微位移驱动机构，其特征在于，所述第二柔性铰链机构(8)还包括左右平行设置的用以实现与所述横向延伸段连接的柔性铰链紧固块(19)，所述第二柔性铰链机构(8)一体化设置，所述动块(7)位于中心对称线上。

8.根据权利要求1所述的微位移驱动机构，其特征在于，所述第二柔性铰链机构(8)下侧设有相对固定的刀座(9)，所述刀具(10)在所述刀座(9)中固定连接。

9.根据权利要求1至8任一项所述的微位移驱动机构，其特征在于，所述第一驱动器(1)具体为第一压电陶瓷驱动器，所述第二驱动器(6)具体为第二压电陶瓷驱动器。

10.根据权利要求9所述的微位移驱动机构，其特征在于，所述第一压电陶瓷驱动器与所述框架(27)之间、所述第二压电陶瓷驱动器与所述第一柔性铰链机构(2)之间均设有预紧螺钉(11)。