[发明专利]一种光学位移检测传感器组件

权利要求书

1.一种光学位移检测传感器组件，其特征在于，包括光学检测传感器和反光镜，所述光学检测传感器包括激光发生器(5)，所述激光发生器(5)外依次分布有内圆周和外圆周；所述内圆周和外圆周上分别设置有若干内圈光敏二极管(7)和外圈光敏二极管(6)；所述反光镜包括直反光面(4)，所述直反光面(4)的四周均设置有倾斜的斜反光面(2)，所述斜反光面(2)与直反光面(4)形成下凹结构；直反光面(4)的中央设置有遮光区。

2.根据权利要求1所述的光学位移检测传感器组件，其特征在于，所述斜反光面(2)的倾斜角：

其中，l₀为外圆周的半径，d为起始检测距离，θ为激光发生器(5)的发散角。

3.根据权利要求1所述的光学位移检测传感器组件，其特征在于，所述内圆周和外圆周上分别设置有四个成十字分布的内圈光敏二极管(7)和外圈光敏二极管(6)。

4.根据权利要求1所述的光学位移检测传感器组件，其特征在于，所述内圆周的半径为350um，所述外圆周的半径为700um。

5.根据权利要求1所述的光学位移检测传感器组件，其特征在于，所述直反光面(4)的半径：

其中，l_i为内圆周的半径，r为内圈光敏二极管(7)的感光半径。