[发明专利]一种感测膜和微机电装置

说明书

本发明涉及一种微机电技术领域，尤其涉及一种感测膜和微机电装置。所述感测膜包括应力分散部和感测部，所述应力分散部包括多个呈平面状的振动弹簧，所述振动弹簧包括第一半簧和第二半簧，所述第一半簧和第二半簧交错连接。微机电装置采用了上述的感测膜。本发明的感测膜和微机电装置具有消除应力效果好的优点。

技术领域

本发明涉及一种微机电技术领域，尤其涉及一种感测膜和微机电装置。

背景技术

微机电装置包括的电容式传感器结构一般为一感测膜搭配一背极，形成两平行板电容板结构以感测振动或压力变化。其中，感测膜的材料特性决定组件感度性能，但于半导体加工过程所产生的热残留应力无法避免。而现有的制程技术仍无法精准的控制薄膜应力，进而微机电装置的灵敏度较低。

因此，如何提供一种释放应力效果好的感测膜，就成了现有技术的需求。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种感测膜和微机电装置，其释放应力的效果好。

为实现上述目的，本发明提供了一种感测膜，应用于微机电装置中，所述感测膜包括应力分散部和感测部，所述应力分散部包括多个呈平面状的振动弹簧，所述振动弹簧包括第一半簧和第二半簧，所述第一半簧和第二半簧交错连接。

优选地，所述第一半簧上开设至少两个位于不同圆周或直线上的第一开槽，所述第二半簧上开设至少两个位于不同圆周或直线上的第二开槽，所述每一第一开槽和相应的一个第二开槽位于同一圆周或直线上，至少一个第一开槽和相邻圆周或直线上的一个第二开槽连通。

优选地，所述第一开槽包括n个，所述第二开槽包括n个，n为正整数且n≥3，有n-2个第一开槽分别和相邻圆周或直线上的一个第二开槽连通，第n个所述第一开槽和第n个所述第二开槽连通。

优选地，多个所述振动弹簧包括第一振动弹簧和第二振动弹簧，所述第一振动弹簧的第奇数个第二开槽和第二振动弹簧的第奇数个第一开槽连通，所述第一振动弹簧的第偶数个第二开槽和第一振动弹簧的第偶数个第一开槽断开。

优选地，所述第一振动弹簧的第偶数个第二开槽和第二振动弹簧的第偶数个第一开槽之间，开设与所述第一开槽大致垂直的横开槽。

优选地，所述横开槽的长度大于或等于两个相邻的所述第一开槽的距离，所述横开槽的两端还分别开设一分隔开槽，所述分隔开槽和所述第一开槽大致平行，所述横开槽的两端分别和所述分隔开槽的中部连通。

优选地，所述第一开槽的孔壁上和/或所述第二开槽的孔壁上设置防粘结构。

优选地，所述防粘结构位于所述第一开槽长度方向的中部或所述第二开槽长度方向的中部，所述防粘结构包括所述第一开槽或第二开槽的中部一侧壁边设置矩形的凸起，所述防粘结构还包括所述第一开槽或第二开槽的中部的另一侧壁边设置凹槽，所述凹槽和所述凸起的位置对应。

优选地，所述感测膜还包括分隔部，所述应力分散部通过所述分隔部和所述感测部连接。

优选地，所述分隔部包括分隔板，所述分隔板呈环形，所述应力分散部通过所述分隔板和所述感测部连接，所述分隔板的高度大于所述感测部的厚度，所述应力分散部、所述分隔板和所述感测部的底面平齐；

或所述分隔部包括第一竖板、第二竖板和连接板，所述第一竖板、第二竖板和连接板都呈环形，所述应力分散部和所述第一竖板连接，所述感测部和所述第二竖板连接，所述第一竖板通过连接板和所述第二竖板连接，所述应力分散部和所述感测部在同一平面上，所述连接板和所述感测部在两个不同的平面上。

本发明还提供一种微机电装置，所述微机电装置采用了上述的感测膜。