[发明专利]超声波装置及电子设备

说明书

一种超声波装置及电子设备，超声波装置(1)具备向第一方向(13)发送超声波(12)的超声波元件(4)排列而成的基板(2)，在超声波元件(4)的第一方向(13)侧配置有降低基板(2)的混响振动的混响降低膜(15)，在混响降低膜(15)上相邻的超声波元件之间配置有槽部(18)。

技术领域

本发明涉及超声波装置及电子设备。

背景技术

对到被测量物之间的距离进行测量的超声波装置正在被有效利用。超声波装置发送超声波并接收反射波。除此之外，从超声波装置射出超声波并使用通过片状的介质的超声波的强度来对介质的张数进行测量的装置正在被有效利用。这些装置中使用的超声波装置在专利文献1中公开。据此，超声波装置中使用了SOI基板(Silicon on Insulator：绝缘体上硅)。另外，在SOI基板的一部分上形成有凹部，在凹部处SOI基板变薄。在该较薄的部分上配置有超声波元件。将该较薄的部分称为振动膜或膜片。

超声波元件是通过电极夹着压电薄膜的结构。该结构的超声波元件能够用于超声波的发送和接收。在发送超声波时，如果向电极间施加电压，则压电薄膜挠曲。向电极间施加规定的电压波形。此时，膜片振动。在停止向电极间施加电压时，膜片的振动衰减并停止。随着膜片的振动的衰减而发送的超声波也衰减。覆盖超声波元件设置有较薄的衰减吸收膜。该衰减吸收膜能够进行膜片的振动吸收并抑制混响振动。因此，由于膜片的振动在短时间内衰减，因此所发送的超声波在短时间内衰减。

在超声波元件接收超声波时，膜片因超声波而振动。另外，压电薄膜挠曲。此时，在电极间产生电压。通过对电极间的电压进行检测，能够识别出超声波元件接收了超声波。此时，由于衰减吸收膜会抑制混响振动，因此超声波装置能够响应性良好地将超声波转换为电信号。

专利文献1：日本特开2007-37006号公报

在专利文献1的超声波装置中，覆盖超声波元件设置有作为衰减吸收膜的混响降低膜。配置多个超声波元件的结构时超声波通过衰减吸收膜传播。此时，超声波元件受到在衰减吸收膜传播的超声波的影响。超声波元件发送超声波。此时，超声波元件发送的超声波和在衰减吸收膜内传播的超声波发生干扰。通过超声波的干扰，从超声波元件发送的超声波的强度下降。另外，超声波元件接收超声波。此时，超声波元件接收的超声波和在衰减吸收膜内传播的超声波发生干扰。通过超声波的干扰，超声波元件接收的超声波的强度下降。因此，能够减弱沿着吸收膜片的振动的衰减吸收膜的超声波的传播，即使超声波元件进行排列，也能够高品质地发送或接收超声波的超声波装置受到期待。

发明内容

本申请的超声波装置，其特征在于，具备超声波元件排列而成的基板，所述超声波元件向第一方向发送超声波，在所述超声波元件的所述第一方向侧配置有降低所述基板的混响振动的混响降低膜，在所述混响降低膜上相邻的所述超声波元件之间配置有槽部。

在上述超声波装置中，优选所述混响降低膜的材质包括硅橡胶。

在上述超声波装置中，优选在所述混响降低膜上与所述超声波元件相对的位置配置有凹部。

本申请的电子设备，其特征在于，具备重叠输送检测装置，所述重叠输送检测装置设置在介质的输送路径上，并对所述介质是否重叠有两张以上进行检测，所述重叠输送检测装置具有上述记载的超声波装置。

本申请的电子设备，其特征在于，具备发送超声波的超声波发送器和接收所述超声波发送器发送的超声波的超声波接收器，所述超声波发送器具有上述记载的超声波装置。

本申请的超声波装置，其特征在于，具备超声波元件排列而成的基板，所述超声波元件接收从第一方向侧行进的超声波，在所述超声波元件的所述第一方向侧配置有降低所述基板的混响振动的混响降低膜，在所述混响降低膜上相邻的所述超声波元件之间配置有槽部。

附图说明

图1是示出第一实施方式所涉及的超声波装置的结构的示意俯视图。