[发明专利]磁控溅射靶材和磁控溅射装置

说明书

本发明提供一种磁控溅射靶材和磁控溅射装置，磁控溅射靶材包括背板、绑定层、导热层和靶材本体；背板内设置有冷却构件；绑定层形成在背板的一侧；导热层形成在绑定层远离背板的一侧，图案化形成导热图案；靶材本体设置在导热层远离绑定层的一侧，且通过未设置导热图案的绑定区绑定在绑定层上。通过形成导热图案，可以更好地将靶材本体的热量传递给背板，再通过背板内的冷却构件将热量带走，从而降低了靶材本体的温度，缓解了靶材本体与背板脱落的现象。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种磁控溅射靶材和磁控溅射装置。

背景技术

目前，磁控溅射进入工业化规模生产应用领域，靶材做为磁控溅射的原料，也得到快速发展。

现有技术中，一块完整的靶材包括靶材本体和背板，二者通过整面的铟绑定在一起，但铟的熔点较低，当靶材温度高于铟的熔点时，有脱靶风险。

因此，现有的靶材存在靶材本体与背板易脱落的技术问题，需要改进。

发明内容

本发明提供一种磁控溅射靶材，以缓解现有的磁控溅射靶材中靶材本体与背板易脱落的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种磁控溅射靶材，包括：

背板,所述背板内设置有冷却构件；

绑定层，形成在所述背板的一侧；

导热层，形成在所述绑定层远离所述背板的一侧，图案化形成导热图案；

靶材本体，设置在所述导热层远离所述绑定层的一侧，且通过未设置所述导热图案的绑定区绑定在所述绑定层上。

在本发明的磁控溅射靶材中，所述导热层材料为石墨烯。

在本发明的磁控溅射靶材中，所述导热图案贯穿所述绑定层，与所述背板接触。

在本发明的磁控溅射靶材中，所述导热图案包括至少一条沿第一方向排列的第一导热条、以及至少一条沿第二方向排列的第二导热条，所述第一导热条和所述第二导热条相交形成网格状。

在本发明的磁控溅射靶材中，相邻所述第一导热条的间距大于或等于所述第一导热条的宽度，相邻所述第二导热条的间距大于或等于所述第二导热条的宽度。

在本发明的磁控溅射靶材中，所述导热图案包括多个第一导热条和多个第二导热条，所述多个第一导热条的宽度相等，所述多个第二导热条的宽度相等。

在本发明的磁控溅射靶材中，所述多个第一导热条等间距设置，所述多个第二导热条等间距设置。

在本发明的磁控溅射靶材中，所述导热图案包括至少一个沿第一方向排列的导热条。

在本发明的磁控溅射靶材中，所述导热图案包括呈阵列设置的多个导热块。

本发明还提供一种磁控溅射装置，用于磁控溅射，包括上述任一项所述的磁控溅射靶材。

本发明的有益效果为：本发明提供一种磁控溅射靶材和磁控溅射装置，磁控溅射靶材包括背板、绑定层、导热层和靶材本体；所述背板内设置有冷却构件；所述绑定层形成在所述背板的一侧；所述导热层形成在所述绑定层远离所述背板的一侧，图案化形成导热图案；所述靶材本体设置在所述导热层远离所述绑定层的一侧，且通过未设置所述导热图案的绑定区绑定在所述绑定层上。通过形成导热图案，可以更好地将靶材本体的热量传递给背板，再通过背板内的冷却构件将热量带走，从而降低了靶材本体的温度，缓解了靶材本体与背板脱落的现象。

附图说明