[发明专利]常压放电冷等离子体发生器有效
申请号: | 201910478858.1 | 申请日: | 2014-12-01 |
公开(公告)号: | CN110167249B | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 王立言;毕鲜荣;周震;宋素梅 | 申请(专利权)人: | 无锡源清天木生物科技有限公司 |
主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46 |
代理公司: | 北京彩和律师事务所 11688 | 代理人: | 闫桑田 |
地址: | 214135 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 常压 放电 等离子体 发生器 | ||
1.常压放电冷等离子体发生器,包括上隔板(6)、射频电极(7)、下隔板(8)和地电极(9),射频电极(7)与射频电源(5)连接,地电极(9)与射频电源地线连接,上隔板(6)覆盖于射频电极(7)上,其特征在于,下隔板(8)内部设有纵横交叉的气体通道(12),射频电极(7)设有突起的平行板条,地电极(9)、下隔板(8)上均设有与射频电极(7)的板条相匹配的窄槽,射频电极(7)的平行板条可以穿过下隔板(8)的窄槽(13),平行穿插于地电极(9)的窄槽之间;在射频电极(7)的平行板条和地电极(9)的窄槽之间形成等离子体放电室(10)。
2.如权利要求1所述的常压放电冷等离子体发生器,射频电极的平行板条的下表面与地电极下表面处于同一平面。
3.如权利要求2所述的常压放电冷等离子体发生器,其特征在于,所述射频电极的平行板条的高度为1-100mm。
4.如权利要求3所述的常压放电冷等离子体发生器,其特征在于,所述射频电极和地电极之间形成等离子体放电室的间隙为0.5-3.0mm。
5.如权利要求1-4任一项所述的常压放电冷等离子体发生器,其特征在于,所述等离子体放电室共同构成的截面为圆形、椭圆形、正方形、长方形。
6.如权利要求5所述的常压放电冷等离子体发生器,其特征在于,所述发生器的射频电极和地电极为裸露金属电极,所述上隔板与下隔板使用的材料均为绝缘材料。
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