[发明专利]一种干膜光阻剂

权利要求书

1.一种干膜光阻剂，其特征在于，包含以下组分：

高分子粘合剂A，活性单体B，自由基引发剂C1，阳离子引发剂C2，热聚合抑制剂，紫外光吸收剂，以及增塑剂；

其中，所述活性单体B至少包含活性单体B1、B2和B3；

其中，活性单体B1的结构式为：

在活性单体B1中，X表示-CH₂CH₂O-，Y表示-CH₂-CH(CH₃)O-或-CH(CH₃)CH₂O-，m表示1～15的整数，n表示0～15的整数；

其中，活性单体B2的结构式为：

在活性单体B2中，X表示-CH₂CH₂O-，Y表示-CH₂-CH(CH₃)O-或-CH(CH₃)CH₂O-，m表示1～25的整数，n表示1～25的整数；

其中，活性单体B3的结构式为：

其中，所述阳离子引发剂C2选自烷基硫鎓盐C21、三芳基硫鎓盐C22、二芳基碘鎓盐C23中的至少一种；所述高分子粘合剂A由60wt％的甲基丙烯酸酯，18wt％的甲基丙烯酸以及22wt％的丙烯酸正丁酯在丁酮溶剂中聚合而成。

2.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述活性单体B还包含以下任一种或多种多官能团单体：三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯，乙氧化双酚A二丙烯酸酯，乙氧化双酚A二甲基丙烯酸酯，二缩三羟甲基丙烷四丙烯酸酯，六官能度聚酯丙烯酸酯，四官能度聚酯丙烯酸酯，三乙二醇二丙烯酸酯。

3.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述自由基引发剂C1选自以下任一种：双咪唑引发剂，二苯甲酮引发剂，二甲氧基苯基苯乙酮引发剂。

4.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述阳离子引发剂C2为二芳基碘鎓盐C23。

5.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述热聚合抑制剂选自以下任一种：对甲氧基苯酚，氢苯醌，特丁基邻苯二酚，邻苯三酚，β-萘酚，2，6-二特丁基-对甲苯酚，2，2’-亚甲基-二(4-乙基-6-特丁基苯酚)，甲基对苯醌，四氯苯醌，芳基亚磷酸盐。

6.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述增塑剂选自以下任一种：柠檬酸三丁酯，乙酰柠檬酸三丁酯，邻苯二甲酸二(2-乙基己)酯，邻苯二甲酸二辛酯，邻苯二甲酸丁苄酯，邻苯二甲酸二仲辛酯，邻苯二甲酸二环己酯，邻苯二甲酸二丁酯，邻苯二甲酸二异丁酯，邻苯二甲酸二甲酯，邻苯二甲酸二乙酯，邻苯二甲酸二异壬酯，邻苯二甲酸二异癸酯。

7.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述干膜光阻剂还包含添加剂；所述添加剂选自以下任一种或多种：附着力促进剂，染料，抗氧剂。

8.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述干膜光阻剂还包含具有羧基的单官能团光聚合单体；所述具有羧基的单官能团光聚合单体选自以下任一种：衣康酸，β-羧乙基丙烯酸酯，柠康酸，丁烯酸，甲基丙烯酰氧乙基邻苯二酸单酯，丙烯酰氧乙基邻苯二酸单酯，富马酸。

9.根据权利要求1所述的干膜光阻剂，其特征在于，所述活性单体B1、B2和B3的质量之和占所述干膜光阻剂总质量的5～15％，并且，所述阳离子引发剂C2的质量占所述干膜光阻剂总质量的0.1～1.0％。