[发明专利]倒装发光二极管芯片以及倒装发光二极管芯片制作方法在审
申请号: | 201910469334.6 | 申请日: | 2019-05-31 |
公开(公告)号: | CN110085732A | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 刘岩;闫宝玉;刘宇轩;陈顺利 | 申请(专利权)人: | 大连德豪光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/62 | 分类号: | H01L33/62;H01L33/00 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 郭玮;李双皓 |
地址: | 116051 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 焊料凸点 倒装发光二极管芯片 凸点下金属化层 产品良率 制作 焊料 润湿 产品报废 焊接接头 间隔空隙 接头接触 实时监控 不均匀 磨削量 粘附性 节约 衬底 返工 过磨 锡球 焊接 侵入 阻挡 申请 | ||
1.一种倒装发光二极管芯片,其特征在于,包括:
衬底(5),所述衬底(5)表面依次设置有N型半导体层(4)、发光层(3)、P型半导体层(2)以及P电极(1),所述N型半导体层(4)远离所述衬底(5)表面设置有N电极(6);
多个焊料凸点(7),一个所述焊料凸点(7)设置于一个所述P电极(1)远离所述P型半导体层(2)的表面,一个所述焊料凸点(7)设置于一个所述N电极(6)远离所述N型半导体层(4)的表面,且每个所述焊料凸点(7)远离所述衬底(5)的表面为平面;
所述P电极(1)包括至少一层凸点下金属化层,所述N电极(6)包括至少一层凸点下金属化层。
2.如权利要求1所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于,所述P电极(1)包括:
第一氧化阻挡层(110),设置于所述P型半导体层(2)远离所述发光层(3)的表面,所述第一氧化阻挡层(110)包围形成第一开口空间(111);
第一润湿层(120),设置于所述第一开口空间(111)内,所述第一润湿层(120)包围形成第二开口空间(121);
第一焊料阻挡层(130),设置于所述第二开口空间(121)内,所述第一焊料阻挡层(130)包围形成第三开口空间(131);
第一粘附层(140),设置于所述第三开口空间(131)内。
3.如权利要求1所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于,所述P电极(1)包括:
第一氧化阻挡层(110),设置于所述P型半导体层(2)远离所述发光层(3)的表面,所述第一氧化阻挡层(110)包围形成第一开口空间(111);
第一润湿层(120),设置于所述第一开口空间(111)内,
第一焊料阻挡层(130),设置于所述第一开口空间(111)内,且所述第一焊料阻挡层(130)设置于所述第一润湿层(120)表面;
第一粘附层(140),设置于所述第一开口空间(111)内,且所述第一粘附层(140)设置于所述第一焊料阻挡层(130)远离所述第一润湿层(120)的表面。
4.如权利要求1所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于,所述P电极(1)包括:
第一氧化阻挡层(110),设置于所述P型半导体层(2)远离所述发光层(3)的表面;
第一润湿层(120),设置于所述第一氧化阻挡层(110)远离所述P型半导体层(2)的表面;
第一焊料阻挡层(130),设置于所述第一润湿层(120)远离所述第一氧化阻挡层(110)的表面;
第一粘附层(140),设置于所述第一焊料阻挡层(130)远离所述第一润湿层(120)的表面。
5.如权利要求2或权利要求3或权利要求4所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于,所述第一氧化阻挡层(110)厚度大于1000埃,所述第一润湿层(120)厚度大于3000埃,所述第一焊料阻挡层(130)与所述第一粘附层(140)厚度之和大于500埃。
6.如权利要求1所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于,所述N电极(6)包括:
第二氧化阻挡层(610),设置于所述N型半导体层(4)远离所述衬底(5)表面,且所述第二氧化阻挡层(610)与所述P电极(1)间隔开设置,所述第二氧化阻挡层(610)包围形成第四开口空间(611);
第二润湿层(620),设置于所述第四开口空间(611)内,所述第二润湿层(620)包围形成第五开口空间(621);
第二焊料阻挡层(630),设置于所述第五开口空间(621)内,所述第二焊料阻挡层(630)包围形成第六开口空间(631);
第二粘附层(640),设置于所述第六开口空间(631)内。
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