[发明专利]碳材料的新用途、半导体型X射线探测器顶电极及探测器在审
| 申请号: | 201910468558.5 | 申请日: | 2019-05-31 |
| 公开(公告)号: | CN112018193A | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
| 发明(设计)人: | 杨世和;肖爽;钱微 | 申请(专利权)人: | 深圳市惠能材料科技研发中心(有限合伙) |
| 主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/115;H01L27/144 |
| 代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 张海平;郭燕 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 材料 用途 半导体 射线 探测器 电极 | ||
1.碳材料的用途,其特征在于,所述碳材料作为半导体型X射线探测器顶电极的材料。
2.根据权利要求1所述的用途,其特征在于,所述碳材料为炭黑、石墨、活性炭、多孔碳、石墨烯、碳纳米管、碳60或它们的组合。
3.一种半导体型X射线探测器顶电极,其特征在于,所述顶电极包含碳材料。
4.根据权利要求3所述的顶电极,其特征在于,所述碳材料为炭黑、石墨、活性炭、多孔碳、石墨烯、碳纳米管、碳60或它们的组合。
5.根据权利要求3或4所述的顶电极,其特征在于,所述顶电极还包含金属材料和/或金属氧化物材料。
6.根据权利要求5所述的顶电极,其特征在于,所述金属材料的重量占所述碳材料的重量的0.1-5重量%。
7.根据权利要求5所述的顶电极,其特征在于,所述金属氧化物材料的重量占所述碳材料的重量的0.1-5重量%。
8.根据权利要求5所述的顶电极,其特征在于,所述金属材料为钼或银金属材料。
9.根据权利要求5所述的顶电极,其特征在于,所述金属氧化物材料为氧化铟锡。
10.一种半导体型X射线探测器,包括电极、吸光层和薄膜晶体管,所述电极包括顶电极和底电极,其特征在于,所述顶电极为根据权利要求3-9中任一项所述的顶电极。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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