[发明专利]柔性有机发光二极管显示面板及其制造方法有效
申请号: | 201910465745.8 | 申请日: | 2019-05-30 |
公开(公告)号: | CN110164939B | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 刘威 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56;H01L51/52;G09F9/30 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 有机 发光二极管 显示 面板 及其 制造 方法 | ||
1.一种柔性有机发光二极管显示面板,其特征在于,包括:
一基板,所述基板包括柔性底板与依次设置在柔性底板上的薄膜晶体管阵列和有机发光二极管器件;
一掺杂有镍的第一无机层,设置在所述基板上,其中镍在所述第一无机层中的原子百分比在8%至40%之间;
一有机层,设置在所述第一无机层上;及
一掺杂有镍的第二无机层,设置在所述有机层上,其中镍在所述第二无机层中的原子百分比在8%至40%之间。
2.根据权利要求1所述的柔性有机发光二极管显示面板,其特征在于,所述有机层的材质为丙烯酸树脂或环氧树脂。
3.根据权利要求1所述的柔性有机发光二极管显示面板,其特征在于,所述第一无机层及第二无机层中的无机材料是选自SiNX、SiOX、SiONX、SiCNX、Al2O3及其任意组合的其中一个。
4.根据权利要求1所述的柔性有机发光二极管显示面板,其特征在于,所述第一无机层与所述第二无机层的厚度在0.5微米至1微米之间,所述有机层的厚度在3微米至8微米之间。
5.一种制造柔性有机发光二极管显示面板的方法,其特征在于,包括:
提供一基板,所述基板包括柔性底板与依次设置在柔性底板上的薄膜晶体管阵列和有机发光二极管器件;
形成一掺杂有镍的第一无机层在所述基板上,其中镍在所述第一无机层中的原子百分比在8%至40%之间;
形成一有机层在所述第一无机层上;及
形成一掺杂有镍的第二无机层在所述有机层上,其中镍在所述第一无机层中的原子百分比在8%至40%之间。
6.根据权利要求5所述的制造柔性有机发光二极管显示面板的方法,其特征在于,所述有机层的材质为丙烯酸树脂或环氧树脂。
7.根据权利要求5所述的制造柔性有机发光二极管显示面板的方法,其特征在于,所述第一无机层及第二无机层中的无机材料是选自SiNX、SiOX、SiONX、SiCNX、Al2O3及其任意组合的其中一个。
8.根据权利要求5所述的制造柔性有机发光二极管显示面板的方法,其特征在于,所述第一无机层与所述第二无机层的厚度在0.5微米至1微米之间,所述有机层的厚度在3微米至8微米之间。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的