[发明专利]一种用于离子束加工的多品种大口径光学元件复合装置

说明书

一种用于离子束加工的多品种大口径光学元件复合装置，包括基体、用于输送光学元件的输送夹紧装置以及提升定位装置，其中提升定位装置可上下移动地设置在基体上，基体的底部左右两侧设有滑轨，输送夹紧装置可前后滑动地设置在滑轨上，滑轨上设有用于定位输送夹紧装置的定位块，基体上设有定位套，输送夹紧装置的上端设有对应的定位销，当输送夹紧装置沿滑轨移动到定位块时，输送夹紧装置正好位于提升定位装置的正下方，输送夹紧装置通过提升定位装置的提升向上移动与基体定位。本发明结构简单合理紧凑，不仅可实现多品种光学元件的装夹，且定位精确，同时方便与外部运输装置对接。

技术领域

本发明涉及一种用于真空环境光学元件复合装置，尤其是一种用于离子束加工的多品种大口径光学元件复合装置。

背景技术

随着科学技术的迅速发展，强激光光学系统和高清晰度光学系统，如战术激光武器光学系统、远距离紫外与红外成像探测系统、深空光电探测系统、轻质稳像观瞄系统、激光雷达系统等，对具有亚纳米级表面粗糙度和纳米级面型精度光学元件的需求日益迫切，需要依靠超精密光学元件及其制造技术来实现。先进光电系统发展的要求日益提升，“超精密”所对应的精度和表面质量也在日益精细化。以表面粗糙度和面型精度为例，超光滑的尺度已经发展到表面粗糙度达到1nm以下，面型精度优于10nm。加工超高精度光学元件，需要利用抛光压力接近于零的非接触式超精密抛光工艺技术，避免光学元件表面及亚表面微观损伤缺陷的产生。离子束抛光技术是原子量级上的无应力、非接触式超精密光学加工工艺技术，具有加工精度高、无损伤、可抑制中高频小波纹度、加工面洁净无污染的特点，特别适合高精度平面、深度非球面镜面、异形镜面、自由表面镜面以及激光晶体等特殊光学元件与材料的超精密加工，两者配合加工精度能达到亚纳米量级，具有传统工艺无法比拟的优越性，同时还能提高工作效率，使制造质量得到保证。

为保证离子束抛光工艺有效实施，离子束抛光时需要依靠真空和高洁净度环境下工件精确输送、夹紧、提升、定位复合装置，通过此装置控制离子束源对被加工光学零件的位置精度。因此，需要研发出一种用于真空环境的精确输送、夹紧、提升、定位复合装置来实现光学元件的精确定位。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种用于的离子束加工的多品种大口径光学元件高精度高紧凑度的复合装置，具有结构合理紧凑、定位精度高的特点。

本发明解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种用于离子束加工的多品种大口径光学元件复合装置，其特征在于：包括基体、用于输送光学元件的输送夹紧装置以及提升定位装置，其中提升定位装置可上下移动地设置在基体上，基体的底部左右两侧设有滑轨，输送夹紧装置可前后滑动地设置在滑轨上，滑轨上设有用于定位输送夹紧装置的定位块，基体上设有定位套，输送夹紧装置的上端设有对应的定位销，当输送夹紧装置沿滑轨移动到定位块时，输送夹紧装置正好位于提升定位装置的正下方，输送夹紧装置通过提升定位装置的提升向上移动与基体定位。

作为改进，所述基体是由四根立柱、固定板以及左右滑轨装配组成，固定板水平固定在四根立柱上，提升定位装置可上下移动地设置在固定板的中部位置，输送夹紧装置安装在滑轨上位于固定板的下方。

再改进，所述提升定位装置包括左右二块竖固定板、一固定连接板、一丝杠、四根导向杆、一活动连接板和一提升板，其中二块竖固定板固定在基体的固定板的中部左右两侧，固定连接板水平固定架设在竖固定板上，活动连接板位于固定连接板的上方，提升板位于基体的固定板的下方，基体的固定板上开设有四个用于安装导向套的通孔，导向套通过螺钉安装在固定板上，导向杆穿置在导向套中与导向套滑动连接，导向杆的上端与活动连接板固定连接，导向杆的下端穿过基体与提升板固定连接，丝杠的上端穿过固定连接板与与活动连接板固定连接，丝杠的的下端穿过基体与提升板固定连接，丝杠上设有驱动丝杠上下移动进而带动活动连接板、提升板上下移动的驱动机构。