[发明专利]一种烘烤设备在审
| 申请号: | 201910435706.3 | 申请日: | 2019-05-23 |
| 公开(公告)号: | CN110128033A | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
| 发明(设计)人: | 涂乐志 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | C03C25/12 | 分类号: | C03C25/12 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
| 地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 除污器 烘烤设备 加热腔 底板 加热腔室 承载板 室内壁 溶剂 可移动地设置 可移动地 污染基板 污渍 掉落 残留 室内 移动 保证 | ||
1.一种烘烤设备,其特征在于,包括:
加热腔室,所述加热腔室具有相对设置的底板以及顶板;
承载板,设置于所述加热腔室内并位于所述底板上;
除污器,设置于所述加热腔室内,且所述除污器可移动地设置于所述顶板上。
2.根据权利要求1所述的烘烤设备,其特征在于,所述加热腔室还具有与所述底板以及所述顶板相连接的侧壁,且所述侧壁上设置有进出口以及与所述进出口相匹配的门体。
3.根据权利要求2所述的烘烤设备,其特征在于,所述除污器平行于所述侧壁设置,且所述除污器的移动方向与所述侧壁垂直。
4.根据权利要求2所述的烘烤设备,其特征在于,所述除污器垂直于所述侧壁设置,且所述除污器的移动方向与所述侧壁平行。
5.根据权利要求1所述的烘烤设备,其特征在于,所述除污器的长度等于所述顶板与所述除污器相平行一边的边长。
6.根据权利要求1所述的烘烤设备,其特征在于,所述除污器包括壳体以及除污件,其中:
所述壳体可移动地设置于所述顶板上;
所述除污件可拆卸地设置于所述壳体上,且所述除污件与所述顶板相接触。
7.根据权利要求6所述的烘烤设备,其特征在于,所述壳体上设置有凹槽,且所述除污件设置于所述凹槽内并与所述顶板相接触。
8.根据权利要求6所述的烘烤设备,其特征在于,所述壳体的材质包括但不限于不锈钢或铝合金。
9.根据权利要求6所述的烘烤设备,其特征在于,所述除污件的材质包括但不限于海绵。
10.根据权利要求1所述的烘烤设备,其特征在于,所述承载板为云母加热板,以向所述加热腔室提供热能。
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