[发明专利]激光加工装置及方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：中心环形光路以及至少一个辅助环形光路；

所述中心环形光路包括：中心环路激光发射器、将所述中心环路激光发射器发射的激光光束转化成环形光束的中心环路锥形镜组以及中心环路聚焦透镜，所述中心环路锥形镜组输出的环形光束入射至所述中心环路聚焦透镜，经所述中心环路聚焦透镜的聚焦产生从待加工物体的上方照射在所述待加工物体上的中心加工环形光束；

每个所述辅助环形光路包括：辅助环路激光发射器、将所述辅助环路激光发射器发射的激光光束转化成环形光束的辅助环路锥形镜组、用于调整光束方向的反射镜组以及辅助环路聚焦透镜，所述辅助环路锥形镜组输出的环形光束入射至所述反射镜组并经所述反射镜组的反射入射至所述辅助环路聚焦透镜，所述辅助环路聚焦透镜对所述反射镜组输出的环形光束进行聚焦产生从所述待加工物体的下方照射在所述待加工物体上的辅助加工环形光束；

其中，所述中心加工环形光束的光轴和所述辅助加工环形光束的光轴重合；所述中心环路激光发射器用于调整自身发射的激光光束的光束参数，以调整所述中心加工环形光束聚焦的位置；所述辅助环路激光发射器用于调整自身发射的激光光束的光束参数，以调整所述辅助加工环形光束聚焦的位置。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述中心环路聚焦透镜的主光轴与所述中心环路锥形镜组输出的环形光束的光轴重合；所述辅助环路聚焦透镜的主光轴与所述反射镜组输出的环形光束的光轴重合。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，所述中心环路聚焦透镜用于沿着自身主光轴移动，以调整所述中心加工环形光束聚焦的位置；所述辅助环路聚焦透镜用于沿着自身主光轴移动，以调整所述辅助加工环形光束聚焦的位置。

4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述中心环路锥形镜组输出的环形光束和所述辅助环路锥形镜组输出的环形光束均为平直的环形光束。

5.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述中心加工环形光束和所述辅助加工环形光束的焦点至少部分重合。

6.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述辅助环路激光发射器发射的激光光束的波长对所述待加工物体的透过率大于零。

7.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述光束参数包括：激光波长、脉冲宽度中的至少一个。

8.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述待加工物体设置在载物台上，所述载物台用于调整所述待加工物体的位置，以调整所述中心加工环形光束和所述辅助加工环形光束的焦点位于所述待加工物体上的位置。

9.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述中心环路锥形镜组和所述辅助环路锥形镜组均包括至少一组锥形镜，所述锥形镜包括：锥形凸透镜、锥形凹透镜。

10.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述反射镜组包括至少一组反射镜。

11.一种激光加工方法，应用于如权利要求1-10任意之一所述的激光加工装置，其特征在于，包括：

中心环路锥形镜组将中心环路激光发射器发射的激光光束转化成环形光束并输出至中心环路聚焦透镜，经所述中心环路聚焦透镜的聚焦产生从待加工物体的上方照射在所述待加工物体上的中心加工环形光束；

辅助环路锥形镜组将辅助环路激光发射器发射的激光光束转化成环形光束并输出至反射镜组，该环形光束经所述反射镜组的反射入射至辅助环路聚焦透镜，所述辅助环路聚焦透镜对所述反射镜组输出的环形光束进行聚焦产生从所述待加工物体的下方照射在所述待加工物体上的辅助加工环形光束；

所述中心环路激光发射器和/或所述辅助环路激光发射器调整自身发射的激光光束的光束参数，以使所述中心加工环形光束和所述辅助加工环形光束的焦点至少部分重合。