[发明专利]用于加工衬底材料的钝化层的探针有效
| 申请号： | 201910427569.9 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN110127588B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 杨晓峰;胡绘钧 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海上谷知识产权代理有限公司 31342 | 代理人： | 蔡继清 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 加工 衬底 材料 钝化 探针 | ||
1.一种用于加工衬底材料的钝化层的探针，包括：
悬臂部分；
尖端，所述尖端位于所述悬臂部分末端并从所述悬臂部分突出；
所述悬臂部分的一端固定至支架并从所述支架水平延伸，且所述尖端设置在所述悬臂部分的远离所述支架的所述末端；
所述尖端包括底座和从所述底座延伸的多个支撑臂，所述支撑臂呈弯曲形状，所述各支撑臂在远离所述底座的端部连接至针尖部；
其中所述底座内设有多个电极，所述支撑臂内设有导线，所述导线用于将所述多个电极与所述针尖部连接；
所述悬臂部分包括悬臂支撑部和悬臂驱动部，所述悬臂支撑部和所述悬臂驱动部沿竖直方向相邻并间隔开，所述尖端设置在所述悬臂驱动部的远离所述支架的末端，所述悬臂驱动部和所述悬臂支撑部 的彼此相对的表面中的一个设有电磁片，另一个设有永磁片或电磁片；和/或
所述悬臂部分包括沿长度方向设置的应变段，所述应变段由多层复合材料制成，所述多层复合材料的各层具有不同的热膨胀系数。
2.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，
所述悬臂驱动部设置在所述悬臂部分下方，在所述悬臂驱动部的上侧和所述悬臂支撑部 的下侧上彼此相对的位置分别设有电磁片。
3.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，
所述悬臂驱动部设置在所述悬臂部分下方，在所述悬臂驱动部的上侧和所述悬臂支撑部 的下侧上彼此相对的位置分别设有电磁片和永磁片。
4.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，
所述悬臂驱动部设置在所述悬臂部分上方，在所述悬臂驱动部的下侧和所述悬臂支撑部 的上侧上彼此相对的位置分别设有电磁片。
5.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，所述悬臂驱动部设置在所述悬臂部分上方，在所述悬臂驱动部的下侧和所述悬臂支撑部 的上侧上彼此相对的位置分别设有电磁片和永磁片。
6.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，
所述应变段设置在所述悬臂支撑部。
7.根据权利要求1～6任意一项所述的探针，其特征在于，所述应变段为沿长度彼此间隔开的多个应变段。
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