[发明专利]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风(102)，包括：

MEMS麦克风单元(104)，以及

调制器(110)，连接在所述MEMS麦克风单元(104)下游，

其中所述调制器(110)被配置为向待调制的信号(120)施加定义的相移，

其中所述调制器被配置为向所述待调制的信号施加可调节相移，并且

其中所述调制器被配置为根据所述待调制的信号的幅度水平来调节所述可调节相移。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风(102)，

其中所述调制器(110)被配置为向所述待调制的信号(120)施加所述定义的相移以便减小所述调制器的限制周期。

3.根据权利要求1或2所述的MEMS麦克风(102)，

其中所述调制器(110)被配置为向所述待调制的信号(120)施加延迟作为所述相移。

4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风(102)，

其中所述延迟等于所述待调制的信号的采样周期或所述采样周期的分数或倍数。

5.根据权利要求1、2和4中任一项所述的MEMS麦克风(102)，

其中所述调制器(110)是数字调制器。

6.根据权利要求1、2和4中任一项所述的MEMS麦克风(102)，

其中所述调制器(110)是Σ-Δ模数转换器。

7.根据权利要求1、2和4中任一项所述的MEMS麦克风(102)，

其中所述调制器(110)是单比特调制器。

8.根据权利要求1、2和4中任一项所述的MEMS麦克风(102)，

其中所述调制器(110)包括被配置为向所述待调制的信号(120)施加所述定义的相移的移相器(124)。

9.根据权利要求8所述的MEMS麦克风(102)，

其中所述调制器(110)包括连接在所述移相器(124)下游的量化器(126)。

10.一种MEMS麦克风模块(100)，包括：

第一MEMS麦克风(102_1)，其是根据权利要求1-9中任一项所述的MEMS麦克风(102)，以及

第二MEMS麦克风(102_2)，其是根据权利要求1-9中任一项所述的MEMS麦克风(102)。

11.根据权利要求10所述的MEMS麦克风模块(100)，

其中所述第一MEMS麦克风(102_1)和所述第二MEMS麦克风(102_2)的调制器(110_1、110_2)被配置为向所述待调制的信号施加不同的相移。

12.一种用于操作MEMS麦克风(102)的方法(200)，所述MEMS麦克风(102)包括MEMS麦克风单元(104)和连接在所述MEMS麦克风单元(104)下游的调制器(110)，其中所述方法(200)包括：

由所述调制器(110)向待调制的信号(120)施加(202)定义的相移，

其中所述调制器被配置为向所述待调制的信号施加可调节相移，并且

其中所述调制器被配置为根据所述待调制的信号的幅度水平来调节所述可调节相移。

13.一种计算机可读存储介质，具有存储在其上的程序代码，所述程序代码被配置为在执行时使得装置执行根据权利要求12所述的方法。