[发明专利]掩膜板装置及其设置方法与应用方法在审
| 申请号： | 201910414977.0 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110158027A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 马昆松 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜板 安装柱 磁性板 磁性片 支撑架 技术效果 成品率 张网 蒸镀 应用 节约 | ||
1.一种掩膜板装置，其特征在于，包括：
框架；
支撑架，被安装至所述框架；
至少一安装柱，突出于所述支撑架远离所述框架一侧的表面；
至少一磁性片，每一磁性片的中部连接至一安装柱的顶部；以及
磁性板，与所述支撑架相对设置，所述磁性板与所述支撑架分别位于所述磁性片的两侧。
2.如权利要求1所述的掩膜板装置，其特征在于，
所述掩膜板装置用于遮掩一基板；
所述磁性片与所述磁性板分别设于所述基板的两侧。
3.如权利要求1所述的掩膜板装置，其特征在于，所述磁性板包括
底板；
磁石，设于所述底板远离所述磁性片一侧的表面；
其中，一磁石与一磁性片对应设置。
4.如权利要求1所述的掩膜板装置，其特征在于，
所述磁性片的长度范围为20mm～50mm；
所述磁性片的宽度范围为1mm～20mm。
5.如权利要求1所述的掩膜板装置，其特征在于，
所述磁性片中部的厚度大于其边缘处的厚度。
6.如权利要求3所述的掩膜板装置，其特征在于，
所述磁石的磁力范围为300Gs～400Gs。
7.如权利要求1所述的掩膜板装置，其特征在于，
所述支撑架包括两个以上相互垂直的支撑条。
8.如权利要求1所述的掩膜板装置，其特征在于，
所述支撑架的材质包括铝合金。
9.一种掩膜板装置的设置方法，其特征在于，包括以下步骤：
框架提供步骤，提供一框架；
支撑架安装步骤，在所述框架上安装至少一支撑架；
安装柱设置步骤，在所述支撑架的上表面设置至少一安装柱；
磁性片设置步骤，在所述支撑架上设置磁性片，使得每一磁性片的中部连接至一安装柱的顶部；以及
磁性板设置步骤，在所述磁性片上方设置一磁性板，使得所述磁性板与所述支撑架分别位于所述磁性片的两侧。
10.一种掩膜板装置的应用方法，其特征在于，包括以下步骤：
框架提供步骤，提供一框架；
支撑架安装步骤，在所述框架上安装至少一支撑架；
安装柱设置步骤，在所述支撑架的上表面设置至少一安装柱；
磁性片设置步骤，在所述支撑架上设置磁性片，使得每一磁性片的中部连接至一安装柱的顶部；
基板放置步骤，在所述磁性片的上方放置一基板；
磁性板设置步骤，在所述基板的上方设置一磁性板，使得所述磁性板与所述磁性片分别位于所述基板的两侧；
蒸镀源放置步骤，在所述框架的下方放置一蒸镀源；以及
蒸镀步骤，上下移动所述磁性板，使得所述磁性片发生形变。
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