[发明专利]用于光刻胶的热致酸生成剂在审
| 申请号： | 201910409869.4 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110119067A | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | G·P·普罗科普维茨;G·珀勒斯;刘骢;C·吴;C-B·徐 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/038 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热致酸生成剂 光刻胶 光刻胶组合物 光致酸生成剂 线宽粗糙度 酸不稳定 树脂 光刻 优选 改进 | ||
1.一种光致抗蚀剂组合物，其包含：
(a)树脂；
(b)光致酸生成剂；
(c)热致酸生成剂；以及
(d)碱性组分，该碱性组分的含量相对于所述热致酸生成剂是当量过量的。
2.一种光致抗蚀剂组合物，其包含：
(a)树脂；
(b)光致酸生成剂；
(c)热致酸生成剂，在对所述光刻胶组合物的涂层进行热处理的过程中，所述热致酸生成剂能够产生pKa等于或小于2.0的酸；以及
(d)碱性组分。
3.如权利要求1或2所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述热致酸生成剂是磺酸盐。
4.如权利要求1-3中任一项所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述热致酸生成剂包含氟化的磺酸盐组分。
5.如权利要求1-4中任一项所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述热致酸生成剂产生pKa小于2的酸。
6.如权利要求1-5中任一项所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述热致酸生成剂不含芳族部分。
7.如权利要求1-5中任一项所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述热致酸生成剂的当量与源自所述碱性组分的碱的当量之比约为0.1至0.9。
8.如权利要求1-7中任一项所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述碱性组分是含胺的化合物。
9.如权利要求1-8中任一项所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述碱性组分是多胺化合物。
10.一种形成光刻胶立体图像的方法，其包括：
(a)将权利要求1-9中任一项所述的光刻胶组合物的涂层施涂到基材上；
(b)使得所述光刻胶组合物涂层对图案化的活化辐射曝光，并对曝光后的光刻胶层进行显影，以形成光刻胶立体图像。
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