[发明专利]一种涡轮分子泵转子及其扩散焊接方法

权利要求书

1.一种涡轮分子泵转子，其特征在于，包括：

多组堆叠设置的转子本体，每组转子本体包括同轴设置的两个转子环和一个翼板，且所述翼板设置于两个所述转子环之间；

所述转子环具有台阶部和凹口部，所述翼板的一端用于与所述台阶部的侧壁抵接，另一端向远离所述台阶部的方向延伸，且当所述翼板的一端与所述台阶部的侧壁抵接时，上方的所述转子环的凹口部用于套设于下方的所述转子环的台阶部上。

2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵转子，其特征在于：

所述翼板具有叶片部和叶盘部，且所述叶盘部设置于两个所述转子环之间，且所述叶盘部的端部与所述台阶部的侧壁抵接，所述叶片部朝远离所述转子环的方向延伸。

3.根据权利要求2所述的涡轮分子泵转子，其特征在于：

所述台阶部的高度大于所述叶盘部的厚度。

4.根据权利要求3所述的涡轮分子泵转子，其特征在于：

所述台阶部的高度等于所述凹口部的深度与叶盘部的厚度之和。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的涡轮分子泵转子，其特征在于：

所述台阶部的高度和所述凹口部的深度均为1～50mm；

所述转子环和所述翼板的厚度为1～100mm。

6.根据权利要求5所述的涡轮分子泵转子，其特征在于：

所述转子环和所述翼板的材料为铝金属材料、铝合金材料、钛金属材料以及钛合金材料中的任一种。

7.根据权利要求6所述的涡轮分子泵转子，其特征在于：

当所述转子环的材料为钛或钛合金材料时，所述转子环的单层厚度为1～100mm，当所述翼板的材料为钛或钛合金材料时，所述翼板单层厚度为1～50mm。

8.根据权利要求2至4中任一项所述的涡轮分子泵转子，其特征在于：

所述台阶部包括呈多个呈环状阵列设置的凸起，所述翼板靠近所述叶盘部的一端环设有用于与多个所述凸起配合的通槽；

当所述转子环与所述翼板层叠设置时，所述凸起与所述通槽插接配合。

9.一种如权利要求1至8中任一项所述涡轮分子泵转子的扩散焊方法，其特征在于，包括：

将所述翼板设置于两个所述转子环之间，且使得上方的所述转子环的凹口部可套设于下方的所述转子环的台阶部上后得到转子本体；

堆叠设置多个所述转子本体后得到装配体；

将所述装配体进行扩散焊接作业。

10.根据权利要求9所述的涡轮分子泵转子的扩散焊方法，其特征在于，将所述装配体进行扩散焊接作业具体包括：

将装配体装入真空扩散焊设备中，在1e^-3～1e^-4Pa的真空度下，对其进行加热、加压，焊接温度为950±10℃，焊接压力为3～5MPa，保温、保压时间为2～3h。