[发明专利]一种对称性结构布局的压电顶针系统在审

专利信息
申请号: 201910407694.3 申请日: 2019-05-15
公开(公告)号: CN110137108A 公开(公告)日: 2019-08-16
发明(设计)人: 任敬之;朱起超;范杨雷;张淑兰 申请(专利权)人: 北京派和科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京头头知识产权代理有限公司 11729 代理人: 白芳仿;宋国云
地址: 100085 北京市海*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 多级放大 铰链 顶针系统 压电陶瓷 顶针 压电 对称性结构 工作频率 驱动机构 微电子封装技术 垂直中心线 上下对称 生产效率 水平设置 组件固定 左右对称 框体 体内 驱动
【权利要求书】:

1.一种对称性结构布局的压电顶针系统,包括顶针(1)、驱动所述顶针(1)往复运动的驱动机构和传动机构,其特征在于:所述驱动机构包括框体(2)、设置于所述框体(2)内的多铰链多级放大组件(22)和压电陶瓷(4),所述压电陶瓷(4)水平设置于所述多铰链多级放大组件(22)内且两端与所述多铰链多级放大组件(22)固定,所述多铰链多级放大组件(22)相对于所述压电陶瓷(4)的轴线上下对称,并且所述多铰链多级放大组件(22)、所述传动机构和所述顶针(1)均相对于所述压电陶瓷(4)的垂直中心线左右对称。

2.根据权利要求1所述的对称性结构布局的压电顶针系统,其特征在于:所述多铰链多级放大组件(22)包括两个装配梁(5)、两个输出梁(6)和四个连接梁(7),两个所述装配梁(5)分别与所述压电陶瓷(4)的两端连接,两个所述输出梁(6)对称设置在所述压电陶瓷(4)的轴线两侧且位于中间位置,所述连接梁(7)通过柔性铰链(8)连接相邻的所述装配梁(5)和所述输出梁(6)。

3.根据权利要求2所述的对称性结构布局的压电顶针系统,其特征在于:所述连接梁(7)与所述装配梁(5)之间所述柔性铰链(8)的设置位置靠近所述框体(2),所述连接梁(7)与所述输出梁(6)之间所述柔性铰链(8)的设置位置靠近所述压电陶瓷(4)。

4.根据权利要求3所述的对称性结构布局的压电顶针系统,其特征在于:位于下部的所述输出梁(6)与所述框体(2)固定,位于上部的所述输出梁(6)通过驱动所述传动机构控制所述顶针(1)。

5.根据权利要求1-4任一所述的对称性结构布局的压电顶针系统,其特征在于:所述传动机构包括传递杆(9),所述传递杆(9)的轴线与所述压电陶瓷(4)的垂直中心线重合,所述传递杆(9)的下端与位于上部的所述输出梁(6)接触,所述传递杆(9)外套装有导轴(10),所述导轴(10)与所述框体(2)固定,所述导轴(10)外设置有用于限位、调节所述传递杆(9)伸出长度的限位调节组件,所述传递杆(9)的上端自所述限位调节组件伸出,并通过连接轴(11)与所述顶针(1)连接。

6.根据权利要求5所述的对称性结构布局的压电顶针系统,其特征在于:所述导轴(10)下端面成型有内凹槽(18),所述传递杆(9)的下部具有第一凸台(19),所述第一凸台(19)与所述内凹槽(18)的底面之间设置有套装于所述传递杆(9)外的复位弹簧(3);在电场作用下,位于上部的所述输出梁(6)对所述传递杆(9)施加的竖直向上作用力大于所述复位弹簧(3)的恢复力。

7.根据权利要求6所述的对称性结构布局的压电顶针系统,其特征在于:所述限位调节组件包括锁紧块(13)和限位螺母(14),所述锁紧块(13)与所述框体(2)可拆卸连接,所述限位螺母(14)螺接于所述锁紧块(13)的中心孔内,所述传递杆(9)的上端自所述限位螺母(14)的中心孔伸出,所述传递杆(9)伸出所述导轴(10)且位于所述限位螺母(14)内的部分成型有第二凸台(15),所述第二凸台(15)适于与所述限位螺母(14)中心孔的台阶(16)配合限位所述传递杆(9)伸出所述限位螺母(14)的长度。

8.根据权利要求7所述的对称性结构布局的压电顶针系统,其特征在于:所述传递杆(9)伸出所述限位螺母(14)的部分连接所述连接轴(11),所述连接轴(11)进而与顶针夹持件(17)连接,所述顶针(1)固定在所述顶针夹持件(17)上。

9.根据权利要求8所述的对称性结构布局的压电顶针系统,其特征在于:位于上部的所述输出梁(6)的上表面中间位置设置有耐磨球(12),所述耐磨球(12)的球面与所述传递杆(9)的下端面点接触。

10.根据权利要求9所述的对称性结构布局的压电顶针系统,其特征在于:所述耐磨球(12)采用结构陶瓷或硬质合金材料。

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