[发明专利]镀膜机散热系统的清洗装置及清洗方法

权利要求书

1.镀膜机散热系统的清洗装置，其特征在于该装置由进液清洗系统和循环再清洗系统组成，其中：

所述进液清洗系统，包括相互连通的加压电机和进液主管道，进液主管道上安装若干进液阀门，进液阀门上设置有转换接头，通过转换接头与各清洗管道分支连接；

所述循环再清洗系统，包括相互连通的储液罐和回液主管道，储液罐与加压电机通过循环管道连接，所述循环管道上设置有循环阀门；回液主管道上安装若干回液阀门，回液阀门上设置有转换接头，通过转换接头与各清洗管道分支连接。

2.如权利要求1所述的镀膜机散热系统的清洗装置，其特征在于储液罐外设置有水浴锅。

3.如权利要求1所述的镀膜机散热系统的清洗装置，其特征在于进液阀门、回液阀门及循环阀门采用智能控制阀。

4.如权利要求1所述的镀膜机散热系统的清洗装置，其特征在于加压电机、进液阀门、回液阀门及循环阀门与上位机连接，实现智能控制。

5.镀膜机散热系统的清洗装置用于清洗电子束蒸镀机，其特征在于共使用四个清洗管道分支，分别为电子枪坩埚散热分支、腔体散热分支、膜厚仪散热分支及低温泵散热分支，清洗方法如下：

电子枪坩埚散热分支单独清洗，以纯水作为前期冲刷剂，以H₂SO₃作为中期清洗剂，以Ca(OH)₂作为后期清洗剂，纯水作为最后的冲刷剂；

其余分支整体清洗，前期以纯水作为冲刷剂，中期以H₂C₂O₄作为清洗剂，后期以NH₃·H₂O溶液作为清洗剂，纯水作为最后的冲刷剂。

6.如权利要求5所述的镀膜机散热系统的清洗装置用于清洗电子束蒸镀机，其特征在于通过如下步骤完成电子束蒸镀机散热系统的清洗：

关闭设备所有工作系统，对电子枪放电，取下石英晶振片，腔体真空恢复到大气压，确保设备处于安全清洗状态；

连接储液罐，设定电子枪坩埚散热分支上的进液阀门、回液阀门及循环阀门为工作状态，设定前期纯水冲刷温度为60℃，压力为0.2MPa，流速1.6L/S，冲刷时间10分钟，运行清洗程序，冲刷沉积在管道内的沉积物；

更换储液罐，将H₂SO₃：纯水为1:60的H₂SO₃水溶液盛放到储液罐中，设定H₂SO₃水溶液清洗温度为10℃，压力为0.4MPa，流速2.6L/S，反应时间20分钟，运行清洗程序，溶解沉积在管道内以Fe₂O₃·nH₂O、Cu₂(OH)₂CO₃为主的腐蚀产物；

更换储液罐，将Ca(OH)₂：纯水为1:60的Ca(OH)₂水溶液盛放到储液罐中，设定Ca(OH)₂水溶液清洗温度为30℃，压力为0.4MPa，流速2.6L/S，反应时间20分钟，运行清洗程序，中和残留在管道内的H₂SO₃水溶液；

更换储液罐，将纯水盛放到储液罐中，设定纯水冲刷温度为30℃，压力为0.2MPa，流速1.6L/S，冲刷时间10分钟，运行清洗程序，冲刷完毕后电子枪坩埚散热分支清洗完成；

更换储液罐，关闭电子枪坩埚散热分支的进液阀门和回液阀门，设定腔体散热分支、膜厚仪散热分支及低温泵散热分支上的进液阀门、回液阀门及循环阀门为工作状态，设定前期纯水冲刷温度为20℃，总压力为0.6MPa，总流速3.6L/S，冲刷时间20分钟，运行清洗程序，冲刷沉积在各散热分支内的沉积物；

更换储液罐，将H₂C₂O₄：纯水为1:30的H₂C₂O₄水溶液盛放到储液罐中，设定H₂C₂O₄水溶液清洗温度为15℃，总压力为0.5MPa，总流速3L/S，反应时间30分钟，运行清洗程序，溶解沉积在管道内以Fe₂O₃·nH₂O为主的腐蚀产物；

更换储液罐，将NH₃·H₂O：纯水为1:30的NH₃·H₂O水溶液盛放到储液罐中，设定NH₃·H₂O水溶液清洗温度为15℃，总压力为0.5MPa，总流速3L/S，反应时间30分钟，运行清洗程序，中和残留在管道内的H₂C₂O₄水溶液；

更换储液罐，将纯水盛放到储液罐中，设定纯水冲刷温度为15℃，总压力为0.6MPa，总流速3.6L/S，冲刷时间20分钟，运行清洗程序，程序运行完毕整个电子束蒸镀机散热系统清洗完成。