[发明专利]离子导向器有效

专利信息
申请号: 201910405621.0 申请日: 2019-05-16
公开(公告)号: CN110504152B 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: H·斯图尔特;A·瓦格纳;A·马卡洛夫 申请(专利权)人: 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司
主分类号: H01J49/06 分类号: H01J49/06;H01J49/26
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陈洁;何焜
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 离子 导向
【权利要求书】:

1.一种离子导向器,其包括:

一组板状电极,每个板状电极具有多个孔 口,所述多个孔口穿过每个板状电极而形成,所述一组板状电极在空间上布置成使得所述一组板状电极的相应板状电极的多个孔口和所述一组板状电极的相应邻近板状电极的多个孔口的相对定位限定通过所述一组板状电极的每个板状电极的所述相应多个孔口的连续离子飞行路径,所述连续离子飞行路径具有竖螺旋式形状和/或横螺旋式形状。

2.根据权利要求1所述的离子导向器,其中所述一组板状电极的每个板状电极具有以下中的一个或多个:相同的形状;相同的大小;以及相同的孔口间距。

3.根据权利要求2所述的离子导向器,其中所述一组板状电极的每个板状电极具有沿着第一维度间隔开的所述相应多个孔口且所述一组板状电极的相应邻近板状电极具有其相应多个孔口,所述相应邻近板状电极的孔口定位成使得在所述第一维度中从所述一组板状电极的其他板状电极的相应多个孔口偏移。

4.根据权利要求3所述的离子导向器,其中所述一组板状电极的相应邻近板状电极定位成使得在所述第一维度中彼此偏移。

5.根据权利要求3或权利要求4所述的离子导向器,其中所述一组板状电极的每个电极具有沿着所述第一维度的相同孔口间距,且所述一组板状电极的一个板状电极的所述相应多个孔口与所述一组板状电极的一个邻近板状电极的所述相应多个孔口之间的偏移小于所述孔口间距。

6.根据权利要求5所述的离子导向器,其中相应邻近板状电极的相应多个孔口之间的偏移基本上等于y/N,其中y是每个板状电极内的所述孔口间距且N是所述板状电极数目。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的离子导向器,其中所述一组板状电极的每个板状电极具有沿着第一维度间隔开的所述相应多个孔口,相应多个孔口的所述相对定位限定所述连续离子飞行路径在所述第一维度中延伸。

8.根据权利要求7所述的离子导向器,其中所述一组板状电极中的至少一些在空间上布置成围绕在所述第一维度中延伸的轴,所述连续离子飞行路径具有竖螺旋式形状。

9.根据权利要求7所述的离子导向器,其中所述一组板状电极中的至少一些在空间上布置成围绕垂直于所述第一维度的轴,使得所述第一维度相对于所述轴是径向的且所述连续离子飞行路径具有横螺旋式形状。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的离子导向器,其中每个板状电极的所述多个孔口具有相同形状。

11.根据权利要求10所述的离子导向器,其中每个板状电极的所述多个孔口中的每一个具有矩形或卵形形状。

12.根据权利要求1-4中任一项所述的离子导向器,其中对于每个电极,所述相应多个孔口包括至少3个孔口。

13.根据权利要求1-4中任一项所述的离子导向器,其中所述连续离子飞行路径具有竖螺旋式形状,其限定二维轮廓,所述一组板状电极的相应板状电极的多个孔口与所述一组板状电极的相应邻近板状电极的多个孔口的所述相对定位限定所述连续离子飞行路径沿着所述二维轮廓多次延伸。

14.根据权利要求13所述的离子导向器,其中所述二维轮廓是圆形、椭圆形、圆角矩形、迷宫形或8字形。

15.根据权利要求14所述的离子导向器,其中所述二维轮廓是8字形且其中所述一组板状电极包括第一多个电极和第二多个电极,其中的每一个布置成限定圆形二维轮廓,所述第一多个电极中的一些和所述第二多个电极中的一些布置成彼此交错,使得所述第一多个电极的所述二维轮廓与所述第二多个电极的所述二维轮廓重叠,所述连续离子飞行路径由所述第一多个电极和所述第二多个电极两者的所述多个孔口限定。

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