[发明专利]立式晶棒激光干涉检测设备

说明书

本发明提供了一种立式激光干涉检测设备，用于对待测晶棒的端面面形精度和内部材质均匀性进行检测，包括：设备主体；参考平面镜承载装置；以及待测晶棒承载装置，其中，参考平面镜承载装置包含平面镜承载部以及微位移部，微位移含有对应布置的固定板和移动板、用于连接固定臂和移动板的至少两个弹性连接件、以及用于驱动移动板相对于固定板进行微小的位置移动的至少一个压电陶瓷封装驱动件，压电陶瓷封装驱动件具有两个端盖以及用于使该两个端盖相对移动的压电陶瓷圈，待测晶棒承载装置包含旋转支撑座、可转动地安装在该旋转支撑座上的旋转盘、以及安装在该旋转盘上的晶棒承托台、晶棒夹持部和反光镜安装座。

技术领域

本发明属于激光干涉检测设备技术领域，具体涉及一种立式晶棒激光干涉检测设备。

背景技术

近年来，随着光纤通讯市场规模的不断扩大，晶棒作为光纤通讯中的重要部件，其端面面形和透射波前对光束传播质量有着重要的影响，因此对其质量的有效监测也是生成过程中一个必要的步骤。采用直拉法、区熔法等方法由单晶硅制备圆柱形的晶棒半成品，需要进一步对其表面进行磨削加工，从而生成得到具有一定尺寸精度和表面粗糙度的晶棒。因此，晶棒的端面面形和内部材质均匀性的检测也越来越重要。传统的测量方法主要依靠人眼判读，但是该人眼判读方法存在着低效率、高误检率以及易受主观因素影响等缺点，已不能满足现代工业生产的需要。

现在市面上的斐索型干涉仪虽然能够对晶棒的端面面形精度或内部材质均匀性进行检测，避免人眼判读方法产生的高误检率以及检测结果易受主观因素影响的问题，但是，斐索型干涉仪存在着如下缺点：(1)由于晶棒的体积较小并且斐索型干涉仪大都是水平式，晶棒需水平放置，这就造成晶棒的夹持和调整比较麻烦、不方便，而且，每测量一个晶棒样品，都需要对新换上的晶棒进行重新调整，大大降低了测量效率；(2)现有的斐索型干涉仪只能进行单一性能测量，若要对晶棒的端面面形精度和内部材质均匀性都进行检测，就需要两台具有不同的晶棒夹持机构的斐索型干涉仪，造成检测成本过高，测试效率也比较低。

此外，移相干涉技术因其高测量精度而被广泛用于各种激光干涉检测设备中。压电陶瓷堆具有良好的精密定位等优点，既能实现大位移的精密定位，也能实现纳米尺度小位移的精密定位，现已成为激光干涉检测设备中的移相器的主要部件。然而，现有的压电陶瓷堆式移相器的结构复杂且体积较大，造成封装困难且实用性不强。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种立式晶棒激光干涉检测设备。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：