[发明专利]一种超声波传感器及其制作方法和显示面板

权利要求书

1.一种超声波传感器，其特征在于，包括承载基板，以及在所述承载基板上阵列设置的多个接收电极、位于所述多个接收电极上的压电膜层，以及位于所述压电膜层上且与所述多个接收电极相对设置的多个发射电极，一个所述接收电极对应一个所述发射电极；其中，

任意一个发射电极与相对的接收电极在所述承载基板的正投影具有重叠区域，且与所述相对的接收电极周围的接收电极在所述承载基板的正投影互不交叠。

2.如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，任意一个所述发射电极在所述承载基板的正投影完全覆盖相对的接收电极在所述承载基板的正投影；或者，

任意一个所述接收电极在所述承载基板的正投影完全覆盖相对的发射电极在所述承载基板的正投影；或者，

任意一个所述接收电极在所述承载基板的正投影与相对的发射电极在所述承载基板的正投影相互重合。

3.如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，每个发射电极在所述承载基板的正投影为正方形。

4.如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，相邻的两个发射电极之间的连接构件在所述承载基板的正投影为正方形。

5.如权利要求1-4任一所述的超声波传感器，其特征在于，还包括：

位于多个所述发射电极远离多个所述接收电极一侧的保护层。

6.如权利要求5所述的超声波传感器，其特征在于，每个所述发射电极沿所述超声传感器的厚度方向的厚度位于[3μm，30μm]范围内。

7.如权利要求5所述的超声波传感器，其特征在于，还包括：

位于所述保护层和多个所述发射电极之间的背衬电极层；

位于多个所述发射电极和所述背衬电极层之间的绝缘层；

其中，每个所述发射电极和所述背衬电极层的总厚度沿所述超声传感器的厚度方向的厚度位于[10μm，20μm]范围内。

8.如权利要求7所述的超声波传感器，其特征在于，所述绝缘层的厚度小于1μm。

9.如权利要求7所述的超声波传感器，其特征在于，相邻的两个所述发射电极之间还填充有第一介质材料，以使得所述压电膜层与所述多个发射电极相邻的表面平坦。

10.如权利要求1-4任一所述的超声波传感器，其特征在于，相邻的两个所述接收电极之间设置有第二介质材料，以使得所述压电膜层与所述多个接收电极相邻的表面平坦。

11.一种显示面板，其特征在于，包括显示背板，以及位于所述显示背板一侧的如权利要求1-10任一所述的超声波传感器；其中，所述显示背板的衬底基板为所述超声波传感器的承载基板。

12.一种超声波传感器的制作方法，其特征在于，包括：

在承载基板上依次制作阵列设置的多个接收电极、压电膜层，以及阵列设置的多个发射电极；其中，

一个所述接收电极对应一个所述发射电极，且任意一个发射电极与相对的接收电极在所述承载基板的正投影具有重叠区域，且与所述相对的接收电极周围的接收电极在所述承载基板的正投影互不交叠。

13.如权利要求12所述的制作方法，其特征在于，在所述压电膜层上制作阵列设置的多个发射电极，包括：

在所述压电膜层上制作第一介质材料层；

对所述第一介质材料层进行图案化处理，形成多个发射电极层的互补图案；

在图案化后的所述第一介质材料层上制作发射电极材料，形成所述多个发射电极。

14.如权利要求12所述的制作方法，其特征在于，在所述压电膜层上制作阵列设置的多个发射电极，包括：

在所述压电膜层上制作发射电极材料；

对所述发射电极材料进行图案化处理，形成所述多个发射电极。