[发明专利]解决PERC电池EL下舟印的方法有效
| 申请号： | 201910399559.9 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN110233188B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 张自铭;朱彦斌;杨灼坚 | 申请（专利权）人： | 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/049 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 224000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 解决 perc 电池 el 下舟印 方法 | ||
1.一种解决PERC电池EL下舟印的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
步骤（1）进舟：温度500—550℃，压力10000mTor；
步骤（2）升温：时间700—800s，温度500—550℃，压力10000mTor；
步骤（3）第一次抽真空：时间100—200s，温度500—550℃，压力0 mTor；
步骤（4）测漏：时间10—50s，温度500—550℃，压力10000 mTor；
步骤（5）第二次抽真空：时间10—100s，温度500—550℃，压力0 mTor；
步骤（6）预处理：时间10—100s，温度500—550℃，硅烷1000—2000sccm，氨气5000-8000sccm，压力1000—2000 mTor；
步骤（7）淀积：时间500—1000s，温度500—550℃，硅烷1000—2000sccm，氨气5000—8000sccm，压力1000—2000 mTor，功率8000—15000W，脉冲开30—80ms ，脉冲关500—1000ms ；
步骤（8）第三次抽真空：时间10—100s，温度400—500℃，压力0 mTor；
步骤（9）第一次吹扫：时间10—100s，温度400—500℃，氮气10000—20000sccm，压力10000 mTor；
步骤（10）第四次抽真空：时间10—100s，温度400—500℃，压力0 mTor；
步骤（11）第二次吹扫：时间10—100s，温度400—500℃，氮气10000—20000sccm，压力10000 mTor；
步骤（12）出舟：温度500—550℃，压力10000 mTor。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
