[发明专利]工件保持件、用于测量工件的测量装置和测量方法

说明书

本发明涉及工件保持件以及用于通过使用工件保持件而执行测量的测量装置和方法。工件保持件被配置成保持工件，所述工件具有待测量的两个相对布置的工件表面，使得所述工件表面两者能够由可移动探测单元接近，并且因此可在工件的一个设定中被测量。为此，工件保持件包括支撑件和保持主体。保持主体具有远离支撑件的保持端部，所述保持端部具有至少一个保持表面，工件被保持在所述保持表面处。在保持主体中，形成有自由空间，当工件被保持时，所述自由空间邻接面向支撑件的工件表面，并且使得工件表面能够被接近，用于测量或探测。对于探测单元的可接近性由横向通道提供，所述横向通道倾斜于或垂直于工件保持件的纵向轴线延伸。

技术领域

本发明涉及用于保持工件的工件保持件，所述工件具有存在于相对工件侧部处的待测量的两个工件表面。本发明还涉及用于通过使用工件保持件而测量工件的测量装置和测量方法。

背景技术

特别是在光学领域中经常可发现在相对工件侧部处相应地具有工件表面（特别是弯曲工件表面）的工件。工件表面可至少以部段地是球面或非球面的，或可具有自由形式。工件也可为微透镜和/或圆柱形光学件的阵列。正好，光学工件要求测量工件表面的特征参数，例如，工件表面的形状和/或每个工件表面的一个或更多个光学轴线的位置和/或定向。在此情况下，决定性的是，参考另一表面的至少一个几何形状参数而准确地知道一个表面的至少一个几何形状参数。

例如，从DE 10 2014 208 636 A1或DE 10 2016 110 453 A1中已知工件的工件表面或光学工件表面的测量。

在现有技术中，做出了高度努力以布置透镜组中的透镜或物镜，使得透镜组或物镜中的偏差最小化。DE 10 2007 027 200 A1提出了用于微光刻的投影照明装置以及定向双非球面的操纵器，从而优化光学系统的成像特征。从DE 10 2013 004 738 A1中已知用于参考基准轴线而目标性调整光学组件部件的方法。

DE 10 2008 027 831 A1涉及透镜中间厚度的测量。待检查的透镜被容纳在具有旋转轴线的旋转支撑件上。旋转支撑件围绕其旋转轴线与透镜一起旋转。激光束平行于旋转轴线被引导通过旋转透镜，并且在激光束穿过透镜之后，空间性光传感器探测激光束的摆动圈。透镜而后相对于旋转支撑件轴线对准，以便使摆动圈最小化。在此定向中，旋转支撑件的旋转轴线延伸通过透镜中间部，随后可由探测对探测所述透镜中间部。

Hahne、 Langehanenberg,“Automated asphere centration testing withAspheroCheck UP”（“利用AspheroCheck UP的自动化非球面对中性测试”）, SPIE公报, 卷号10448, 104481H, 2017, doi:10.1117/12.2279674描述的是，利用两个相对光学测量单元而光学测量透镜的几何形状参数。光学测量单元必须被布置在待测量物体的侧部两者上在公共轴线的范围中，这影响了用于待测量工件的工件台的设置和布置。

从DE 10 2006 052 047 A1中已知用于确定非球面透镜表面的对称轴线位置的方法和装置。另一相对透镜表面不被测量。

DE 10 2014 007 203 A1描述的是，测量光学工件的两个工件表面，其中，首先测量一个工件表面，随后大约以180度手动转动工件，并且而后在第二测量路径中测量相对工件表面。这要求工件在两个定向上的高度精确和可重复的布置，以便能够使工件表面的这些单次测量（特别是两个工件表面的光学轴线的相对位置或相对定向）关联到彼此。

发明内容

从现有技术出发，本发明的目的可被认为是简化工件（特别是具有待测量的两个相对工件表面的光学工件）的测量。

此目的通过具有权利要求1的特征的工件保持件、通过具有权利要求16的特征的测量装置以及具有权利要求20的特征的测量方法而得到解决。