[发明专利]一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺有效
| 申请号: | 201910395803.4 | 申请日: | 2019-05-13 |
| 公开(公告)号: | CN110246925B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
| 发明(设计)人: | 黄勤;胡志刚;陶奎任;李志坚;牛改宇 | 申请(专利权)人: | 中山瑞科新能源有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/467 |
| 代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 肖军 |
| 地址: | 528400 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 碲化镉 太阳能 电池板 阳面 刻蚀 工艺 | ||
1.一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,包括以下步骤:
a.碲化镉太阳能电池板(100)定位;设置一刻蚀工作台以及为刻蚀工作台送料、出料的传送台(101),所述的传送台(101)于刻蚀工作台的物料的进口设置有第一机械手、于刻蚀工作台的出口设置有第二机械手,且传送台(101)在对应第一机械手的位置会主动停止传送,对碲化镉太阳能电池板(100)实现第一次定位;传送台(101)在对应第二机械手的位置主动停止传送,对碲化镉太阳能电池板(100)实现第二次定位;
b.合片;在碲化镉太阳能电池板(100)的上端面覆盖一盖片(102)
c.阳面刻蚀;以浓硝酸(104)对碲化镉太阳能电池板(100)的下端进行刻蚀;
其中,所述的盖片(102)的底面贴合并完全遮盖住碲化镉太阳能电池板(100)的上端面,所述第一机械手用于在所述第一次定位时覆盖所述盖片(102),所述第二机械手用于在所述第二次定位时取走所述盖片(102)。
2.根据权利要求1所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,在步骤c之后还包括步骤d:分离;所述的第二机械手上设置有卸料吸盘,以卸料吸盘取走覆盖在碲化镉太阳能电池板(100)上的盖片(102)。
3.根据权利要求1所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,所述的第一机械手上设置有取料吸盘、定位气缸,并以取料吸盘吸取盖片(102),以定位气缸伸出将所述的盖片(102)对齐、固定在碲化镉太阳能电池板(100)的上端面上,而后收回定位气缸,进而完成步骤b。
4.根据权利要求2或3所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,所述的刻蚀工作台内设置有浓度为30-50%、温度为25-32℃的浓硝酸(104),所述的传送台(101)将覆盖好盖片(102)的碲化镉太阳能电池板(100)输送至刻蚀工作台内,传送速度设置为1-5m/min,传送时间设置为15-60s。
5.根据权利要求1所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,所述的传送台(101)设置有螺纹滚轴,并以螺纹滚轴进行传送。
6.根据权利要求1所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,所述的盖片(102)设置为耐腐蚀薄板,与碲化镉太阳能电池板(100)的形状相同且大小一致,其厚度设置为1-4mm。
7.根据权利要求6所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,所述的耐腐蚀薄板设置为玻璃板。
8.根据权利要求1所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,所述的刻蚀工作台的上部设置有排风系统(103),以排风系统(103)连通厂务废气处理系统。
9.根据权利要求1所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,所述碲化镉太阳能电池板(100)的下端设置为耐腐蚀的玻璃衬底。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山瑞科新能源有限公司,未经中山瑞科新能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910395803.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





