[发明专利]一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺有效

专利信息
申请号: 201910395803.4 申请日: 2019-05-13
公开(公告)号: CN110246925B 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 黄勤;胡志刚;陶奎任;李志坚;牛改宇 申请(专利权)人: 中山瑞科新能源有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/467
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 肖军
地址: 528400 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 碲化镉 太阳能 电池板 阳面 刻蚀 工艺
【权利要求书】:

1.一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,包括以下步骤:

a.碲化镉太阳能电池板(100)定位;设置一刻蚀工作台以及为刻蚀工作台送料、出料的传送台(101),所述的传送台(101)于刻蚀工作台的物料的进口设置有第一机械手、于刻蚀工作台的出口设置有第二机械手,且传送台(101)在对应第一机械手的位置会主动停止传送,对碲化镉太阳能电池板(100)实现第一次定位;传送台(101)在对应第二机械手的位置主动停止传送,对碲化镉太阳能电池板(100)实现第二次定位;

b.合片;在碲化镉太阳能电池板(100)的上端面覆盖一盖片(102)

c.阳面刻蚀;以浓硝酸(104)对碲化镉太阳能电池板(100)的下端进行刻蚀;

其中,所述的盖片(102)的底面贴合并完全遮盖住碲化镉太阳能电池板(100)的上端面,所述第一机械手用于在所述第一次定位时覆盖所述盖片(102),所述第二机械手用于在所述第二次定位时取走所述盖片(102)。

2.根据权利要求1所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,在步骤c之后还包括步骤d:分离;所述的第二机械手上设置有卸料吸盘,以卸料吸盘取走覆盖在碲化镉太阳能电池板(100)上的盖片(102)。

3.根据权利要求1所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,所述的第一机械手上设置有取料吸盘、定位气缸,并以取料吸盘吸取盖片(102),以定位气缸伸出将所述的盖片(102)对齐、固定在碲化镉太阳能电池板(100)的上端面上,而后收回定位气缸,进而完成步骤b。

4.根据权利要求2或3所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,所述的刻蚀工作台内设置有浓度为30-50%、温度为25-32℃的浓硝酸(104),所述的传送台(101)将覆盖好盖片(102)的碲化镉太阳能电池板(100)输送至刻蚀工作台内,传送速度设置为1-5m/min,传送时间设置为15-60s。

5.根据权利要求1所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,所述的传送台(101)设置有螺纹滚轴,并以螺纹滚轴进行传送。

6.根据权利要求1所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,所述的盖片(102)设置为耐腐蚀薄板,与碲化镉太阳能电池板(100)的形状相同且大小一致,其厚度设置为1-4mm。

7.根据权利要求6所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,所述的耐腐蚀薄板设置为玻璃板。

8.根据权利要求1所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,所述的刻蚀工作台的上部设置有排风系统(103),以排风系统(103)连通厂务废气处理系统。

9.根据权利要求1所述的一种碲化镉太阳能电池板阳面刻蚀的工艺,其特征在于,所述碲化镉太阳能电池板(100)的下端设置为耐腐蚀的玻璃衬底。

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