[发明专利]一种双向振动的压电能量收集装置有效
申请号: | 201910384082.7 | 申请日: | 2019-05-09 |
公开(公告)号: | CN110282593B | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
发明(设计)人: | 敖宏瑞;高珊;姜洪源 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | B81B3/00 | 分类号: | B81B3/00 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 宋诗非 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双向 振动 压电 能量 收集 装置 | ||
1.一种双向振动的压电能量收集装置,其特征在于,包括硅衬底、材料层和质量块;
所述硅衬底的一端为自由端,另一端为固定端,两个质量块对称施加在自由端两侧;硅衬底上开有水平方向和竖直方向的两个长方形通孔,其中,水平方向的长方形通孔的上、下表面构成水平悬臂梁,竖直方向的长方形通孔的前、后表面构成竖直悬臂梁;
所述材料层附着在水平悬臂梁与竖直悬臂梁的外表面,材料层由内向外依次为氧化物层、粘附层、底电极层、种晶层、压电层和顶电极层;
每个长方形通孔每个侧面上的压电层按照振动条件下受应力状态的不同分为两部分;
每个悬臂梁振动条件下同一时刻受力状态相同的电极层相互串联,形成两个串联电路,所述两个串联电路并联后接入外部能量收集电路。
2.根据权利要求1所述的一种双向振动的压电能量收集装置,其特征在于,还包括夹持部,所述夹持部用于固定固定端。
3.根据权利要求1或2所述的一种双向振动的压电能量收集装置,其特征在于,质量块采用的材料为金属镍。
4.根据权利要求1或2所述的一种双向振动的压电能量收集装置,其特征在于,氧化物层采用的材料为二氧化硅。
5.根据权利要求1或2所述的一种双向振动的压电能量收集装置,其特征在于,粘附层采用的材料为金属钛及其氧化物二氧化钛。
6.根据权利要求1或2所述的一种双向振动的压电能量收集装置,其特征在于,底电极层采用的材料为金属铂。
7.根据权利要求1或2所述的一种双向振动的压电能量收集装置,其特征在于,种晶层采用的材料为二氧化钛和钛酸铅。
8.根据权利要求1或2所述的一种双向振动的压电能量收集装置,其特征在于,顶电极层采用的材料为金属金和镉。
9.根据权利要求1或2所述的一种双向振动的压电能量收集装置,其特征在于,顶电极层采用的材料为金属铂、镉和铝。
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