[发明专利]减压干燥装置及减压干燥方法

说明书

本发明涉及一种减压干燥装置及减压干燥方法，所述减压干燥装置包括干燥腔体、溶剂捕获板和支承板，溶剂捕获板和支承板设于干燥腔体内，支承板用于承载和加热待干燥基板，溶剂捕获板与支承板相对设置且能够转动，溶剂捕获板转动的过程中，支承板在溶剂捕获板所在面上的投影完全位于溶剂捕获板内。本发明利用溶剂捕获板旋转产生的离心作用，将基板中心部分的溶剂蒸汽部分转移到边缘区域，使得原本溶剂蒸汽浓度较高的中心部分浓度降低，原本溶剂蒸汽浓度较低的边缘区域浓度升高，让基板表面的溶剂气氛更加均匀，最终使得基板上的各个区域的成膜更加均匀、平整，能够有效改善减压干燥时的边缘效应。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种减压干燥装置及减压干燥方法。

背景技术

有机发光二极管(OLED)、量子点发光二极管(QLED)等因其色域广、对比度高、响应迅速、视角大、功耗低等优点，近年来作为下一代显示技术而倍受关注。这些发光器件的功能层除了可以使用传统的蒸镀方法来制备外，还可以使用喷墨打印的方法来制备，即将有机材料溶解到有机溶剂中制成墨水，再用喷墨打印的方式准确沉积到每一个像素坑中。如图1所示，基板100上由堤坝101分隔形成一个个的像素坑，然后墨水102被准确沉积到像素坑中。墨水沉积后，经过减压干燥，使有机溶剂完全挥发，只留下有机材料，然后再对有机材料进行烘烤，便完成一层功能层的制备。例如有机发光二极管的结构包括阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极，其中的空穴注入层、空穴传输层和发光层等便可以使用喷墨打印的方法来制备。

对于减压干燥过程，除了去除溶剂外，也会决定成膜的表面形貌。减压装置通过降低环境的压力，来降低有机溶剂的沸点，使得挥发速率提高。在最优的挥发速率下，会得到平坦、厚度均匀的薄膜。如果挥发速率过快，薄膜会偏凸；挥发速率过慢，薄膜会偏凹。而使用目前的减压干燥装置对尺寸较大的基板进行减压干燥时，边缘区域的溶剂蒸汽更倾向于向外侧运动，而中心区域的溶剂蒸汽依旧保持着向上运动，使得在减压干燥过程中，基板表面的边缘区域的溶剂蒸汽浓度远小于中心区域的蒸汽浓度，容易导致边缘和中心的成膜形貌产生较大的差异，结果如图1所示，边缘的成膜形貌偏凸，中心的成膜形貌偏凹，从而影响单个像素内的发光均匀性(电流倾向于从较薄的地方经过)，也会在基板上形成区域性的颜色、亮度差异，影响显示效果。

发明内容

基于此，有必要提供一种能够在减压干燥过程中提高成膜均匀性的减压干燥装置。

一种减压干燥装置，包括干燥腔体、溶剂捕获板和支承板，所述溶剂捕获板和所述支承板设于所述干燥腔体内，所述支承板用于承载和加热待干燥基板，所述溶剂捕获板与所述支承板相对设置且能够转动，所述溶剂捕获板转动的过程中，所述支承板在所述溶剂捕获板所在面上的投影完全位于所述溶剂捕获板内。

使用本发明的减压干燥装置对待干燥基板进行减压干燥时，可使溶剂捕获板转动，从而可利用溶剂捕获板旋转产生的离心作用，将待干燥基板中心部分的溶剂蒸汽部分转移到边缘区域，且由于溶剂捕获板转动时，支承板在溶剂捕获板所在面上的投影完全位于溶剂捕获板内，不会导致待干燥基板不同区域之间的干燥条件产生巨大差异。如此，使得原本溶剂蒸汽浓度较高的中心部分浓度降低，原本溶剂蒸汽浓度较低的边缘区域浓度升高，让溶剂捕获板和待干燥基板之间的溶剂气氛更加均匀。由于在溶剂蒸汽达到饱和蒸汽压前，蒸汽浓度越小，溶剂挥发速率就越快，蒸汽浓度越大，溶剂挥发速率就越慢，因此更加均匀的溶剂气氛将使得待干燥基板各个区域之间的溶剂挥发速率趋于一致，最终使得基板上的各个区域的成膜更加均匀、平整，从而能够改善减压干燥时的边缘效应。

在其中一个实施例中，所述溶剂捕获板的转动轴垂直于所述溶剂捕获板，所述溶剂捕获板的中心在所述溶剂捕获板的转动轴上。

在其中一个实施例中，所述支承板的中心在所述溶剂捕获板所在面上的投影与所述溶剂捕获板的中心重合。

在其中一个实施例中，所述溶剂捕获板的形状为圆形，所述支承板的形状为矩形。