[发明专利]一种基于Ge2Sb2Te5相变材料的可重构显示装置及方法在审
申请号: | 201910376386.9 | 申请日: | 2019-05-07 |
公开(公告)号: | CN110148609A | 公开(公告)日: | 2019-08-20 |
发明(设计)人: | 瑞光浩;丁传传;顾兵;崔一平;詹其文;甘巧强 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | H01L27/24 | 分类号: | H01L27/24;H01L45/00;G02F1/00;G02F1/01 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 210096 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 像素单元 显示装置 相变材料 纳米铝 盘阵列 电极系统 外部控制 可重构 薄膜 二氧化硅薄膜 动态可重构 显示颜色 反射谱 非晶态 可改变 分辨率 加温 晶态 铝衬 色域 制备 能耗 响应 调控 制作 | ||
1.一种基于Ge2Sb2Te5相变材料的可重构显示装置,其特征在于:由周期性像素单元(1)组成,每个像素单元包括:纳米铝盘阵列(2)、上层二氧化硅薄膜(3)、GST层(4)、下层二氧化硅薄膜(5)、铝衬底(6)、外部控制电极系统(7);所述的纳米铝盘阵列(2)、上层二氧化硅薄膜(3)、GST层(4)、下层二氧化硅薄膜(5)、铝衬底(6)从上至下依次分布,所述外部控制电极系统(7)可对上层二氧化硅薄膜(3)和下层二氧化硅薄膜(5)的电极输入电信号,用于GST层(4)的加温,从而实现GST材料由非晶态向晶态的转化。
2.根据权利要求1所述的一种基于Ge2Sb2Te5相变材料的可重构显示装置,其特征在于:所述像素单元(1)的周期为9微米;所述纳米铝盘阵列(2)的半径在50-100纳米范围内,周期在250-400纳米范围内,厚度为60纳米;所述上层二氧化硅薄膜(3)的厚度为50纳米;所述GST层(4)的厚度为10纳米;所述下层二氧化硅薄膜(5)的厚度为140纳米;所述铝衬底(6)厚度为150纳米。
3.根据权利要求1或2所述的一种基于Ge2Sb2Te5相变材料的可重构显示装置的可重构显示方法,其特征在于:包括以下步骤:
步骤一、将所要显示的图像拆分为一系列不同颜色的像素点,并依此确定单个像素单元中纳米铝盘阵列(2)的半径和周期,单个像素单元周期为9微米,根据纳米盘周期调整单个像素点容纳的纳米盘数量,制备器件并在上层二氧化硅薄膜(3)和下层二氧化硅薄膜(5)上制备电极;
步骤二、将自然光从纳米铝盘阵列(2)一侧照射本装置,即可肉眼从反射光中观察到彩色图像;
步骤三、通过外接逻辑电路确定每个像素单元(7)中加载电信号的强度和时间,在特定时长电场的作用下,GST层(4)会升温并处于非晶态与晶态之间的某个特定稳定状态,造成GST层(4)状态的变化并影响单个像素单元的共振状态,从而使结构显示出的色彩颜色发生改变;
步骤四、利用外部控制电极系统(7)将GST层(4)加热至熔点,并利用液氮使其快速冷却至室温,GST层(4)将回复为非晶态;
步骤五、调整加载的电信号,重复步骤三和步骤四,即实现色彩的高速可重构显示。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的