[发明专利]塔式升降机

说明书

一种塔式升降机包括：主框架，其在竖直方向上延伸；滑架模块，其被配置成可沿所述主框架在所述竖直方向上移动；配重模块，其设置在所述滑架模块后面且被配置成可沿所述主框架在所述竖直方向上移动；驱动模块，其设置在所述主框架上且被配置成使用至少一个正时皮带在所述竖直方向上移动所述滑架模块和所述配重模块；自动张紧器，其设置在所述主框架的下部上且通过平衡皮带与所述滑架模块和所述配重模块连接；以及上部对齐单元，其用于对齐所述至少一个正时皮带的水平位置。

技术领域

本发明涉及一种塔式升降机。更具体地，本发明涉及一种使用滑架模块竖直运输物体的塔式升降机。

背景技术

一般来说，在半导体或显示器的制造过程中，半导体晶片或显示器基板可以通过塔式升降机在多个楼层的洁净室之间在竖直方向上进行运输。

塔式升降机可以包括用于运输物体的滑架模块，在竖直方向上延伸且用于引导滑架模块的导轨被安装至的主框架，设置在滑架模块后面的配重模块，以及使用正时皮带在竖直方向上移动滑架模块和配重模块的驱动模块。此外，塔式升降机还可以包括用于连接滑架模块和配重模块的平衡皮带以及用于调整平衡皮带的张力的自动张紧器。驱动模块可以包括与正时皮带啮合的正时带轮，且自动张紧器可以包括与平衡皮带啮合的带轮。

然而，当塔式升降机的高度增加或滑架模块和配重模块的竖直移动速度增加时，正时皮带会脱离驱动模块的正时带轮，且平衡皮带会脱离自动张紧器的带轮。

发明内容

本发明提供了一种能够防止正时皮带脱离驱动模块的正时带轮的塔式升降机。此外，本发明提供了一种能够防止平衡皮带脱离自动张紧器的带轮的塔式升降机。

根据本发明的一些示例性实施例，一种塔式升降机可以包括：主框架，其在竖直方向上延伸；滑架模块，其被配置成可沿主框架在竖直方向上移动；配重模块，其设置在滑架模块后面且被配置成可沿主框架在竖直方向上移动；驱动模块，其设置在主框架上且被配置成使用至少一个正时皮带在竖直方向上移动滑架模块和配重模块；自动张紧器，其设置在主框架的下部上且通过平衡皮带与滑架模块和配重模块连接；以及上部对齐单元，其用于对齐至少一个正时皮带的水平位置。

根据本发明的一些示例性实施例，驱动模块可以包括一对正时皮带，其分别具有与滑架模块连接的第一端部和与配重模块连接的第二端部；正时带轮，其被配置成一体且具有与正时皮带啮合的一对齿轮部分；以及驱动单元，其用于旋转正时带轮。

根据本发明的一些示例性实施例，上部对齐单元可以包括第一上部对齐辊，其设置在正时皮带之间；第二上部对齐辊，其分别设置在一对正时皮带的两侧上；上部固定块，第一上部对齐辊安装至上部固定块；以及上部可移动块，第二上部对齐辊分别安装至上部可移动块且上部可移动块被配置成可在平行于正时带轮的中心轴线的方向上移动。

根据本发明的一些示例性实施例，上部对齐单元还可以包括第二上部固定块，其分别设置在上部可移动块的两侧上；以及弹性构件，其分别设置在上部可移动块和第二上部固定块之间。

根据本发明的一些示例性实施例，上部对齐单元还可以包括上部失准检测传感器，其用于监测第二上部对齐辊的位置以检测正时皮带的失准状态。

根据本发明的一些示例性实施例，自动张紧器可以包括固定带轮，其设置在滑架模块和配重模块的下方，且平衡皮带啮合在固定带轮上；以及可移动带轮，其设置在邻近固定带轮处且被配置成向下按压平衡皮带的内侧以保持平衡皮带的张力。

根据本发明的一些示例性实施例，塔式升降机还可以包括用于对齐平衡皮带的水平位置的下部对齐单元。

根据本发明的一些示例性实施例，下部对齐单元可以包括下部对齐辊，其分别设置在邻近平衡皮带的两侧处，以防止平衡皮带脱离固定带轮；以及下部可移动块，下部对齐辊分别安装至下部可移动块且下部可移动块被配置成可在平行于固定带轮的中心轴线的方向上移动。