[发明专利]一种具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备

说明书

本发明涉及一种具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备，包括操作箱、摄像头和载物台，还包括清洁机构和除湿机构，所述清洁机构包括移动杆、清洁块、转动轴、第一电机、两个移动组件和两个支撑组件，所述除湿机构包括干燥箱、抽气泵、湿度传感器、两个输气管和两个隔离网，所述移动组件包括导轨、连接板、第二电机和至少两个移动轮，所述支撑组件包括连接套管、弹簧、升降杆和限位块，该具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备中，通过清洁机构可以对摄像头进行清洁，则提高了摄像头拍摄的清晰度，提高了检测设备的性能，通过除湿机构可以降低操作箱内部的湿度，则降低了检测设备对芯片电气性能的影响，提高了检测设备的实用性。

技术领域

本发明涉及芯片检测设备领域，特别涉及一种具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备。

背景技术

芯片检测设备主要针对晶圆上的芯片完成切割后的外观检测，比如尺寸、破损、裂粒、气孔、裂痕、镍层不良等等，所以也叫做晶圆切割检测设备，是靠机器视觉来实现检测的，芯片检测设备是通过摄像头对晶圆拍摄，在将照片传送到软件，通过特点的算法分析产品的外观，并自动分拣良品及次品。

现有技术的检测设备在长时间的使用之后，摄像头上容易积累污渍，污渍将会对摄像头的拍摄造成遮挡，降低了摄像头拍摄芯片的清晰度，不仅如此，通过检测设备检测芯片的过程中，如果芯片所处的环境湿度较高，将会影响芯片的电气性能，降低了检测设备的实用性。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有除湿功能的清晰度高的芯片检测设备，包括包括操作箱、摄像头和载物台，所述摄像头和载物台分别设置在操作箱的正对的两侧的内壁上，所述摄像头与载物台正对设置，还包括清洁机构和除湿机构，所述清洁机构设置在操作箱的内部，所述除湿机构设置在操作箱的一侧；

所述清洁机构包括移动杆、清洁块、转动轴、第一电机、两个移动组件和两个支撑组件，两个移动组件分别设置在摄像头的两侧，两个移动组件分别设置在操作箱的正对的两侧的内壁上，所述移动杆与载物台平行，所述移动杆的两端分别与两个移动组件连接，所述转动轴与移动杆平行，所述转动轴设置在移动杆的靠近摄像头的一侧，所述转动轴的两端均设有轴承，所述轴承的内圈与转动轴的一端的外周固定连接，所述轴承的外圈通过支撑组件与移动杆连接，所述第一电机设置在其中一个支撑组件上，所述第一电机与转动轴传动连接，所述清洁块的形状为圆柱形，所述清洁块与转动轴同轴设置，所述清洁块套设在转动轴上，所述清洁块的半径小于转动轴与摄像头之间的最小距离；

所述除湿机构包括干燥箱、抽气泵、湿度传感器、两个输气管和两个隔离网，所述干燥箱设置在操作箱的一侧，两个输气管的一端分别与干燥箱的正对的两端连通，两个输气管的另一端分别与操作箱的正对的两侧连通，所述抽气泵设置在干燥箱的内壁上，所述抽气泵与其中一个输气管连接，两个隔离网相互平行，两个隔离网均设置在干燥箱的内部，所述隔离网与干燥箱的内壁密封连接，两个隔离网均设置在两个输气管与干燥箱的连接点之间，所述湿度传感器设置在操作箱的内部。

作为优选，为了提高检测设备的自动化程度，所述操作箱上设有控制面板，所述控制面板的内部设有处理器，所述控制面板上设有显示屏和至少两个控制按键，所述显示屏、湿度传感器和各控制按键均与处理器电连接。

作为优选，为了给移动杆提供动力，所述移动组件包括导轨、连接板、第二电机和至少两个移动轮，所述导轨与载物台平行，所述导轨与移动杆垂直，所述连接板与移动杆垂直，所述连接板设置在导轨的靠近移动杆的一侧，所述移动杆的两端分别与两个连接板固定连接，各移动轮均铰接在连接板的远离移动杆的一侧，各移动轮的圆心所在的直线与导轨平行，所述第二电机与连接板固定连接，所述第二电机与其中一个移动轮传动连接，所述移动轮与导轨的靠近摄像头的一侧抵靠。