[发明专利]光阻组合物、显示面板及其制备方法有效
申请号: | 201910375030.3 | 申请日: | 2019-05-07 |
公开(公告)号: | CN110032041B | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 张岳妍 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/00 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组合 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
1.一种光阻组合物,用于和碱性显影液反应,其特征在于,所述光阻组合物包括树脂、感光剂,所述树脂中包含亲水基团,所述亲水基团使得所述光阻组合物具有亲水性;
所述树脂的分子结构式为:其中,所述R1、R2中至少有一个包括所述亲水基团,n为正整数,所述R1包括羧酸基、磺酸基、磷酸基、氨基、季铵基、醚基、羧酸酯、嵌段聚醚中的至少一种;
所述感光剂的分子结构式为:其中,所述R3、R4中至少有一个包括所述亲水基团。
2.如权利要求1所述的光阻组合物,其特征在于,所述光阻组合物在加热条件下,所述亲水基团排列在所述光阻组合物靠近亲水性物质的一侧。
3.如权利要求1所述的光阻组合物,其特征在于,所述光阻组合物还包括界面活性剂以及溶剂。
4.一种显示面板,其特征在于,所述显示面板包括衬底以及设置在所述衬底上的光阻层;
其中,所述光阻层的制备材料包括光阻组合物,所述光阻组合物用于和碱性显影液反应,所述光阻组合物包括树脂、感光剂,所述树脂中包含亲水基团,所述亲水基团使得所述光阻组合物具有亲水性;
所述树脂的分子结构式为:其中,所述R1、R2中至少有一个包括所述亲水基团,n为正整数,所述R1包括羧酸基、磺酸基、磷酸基、氨基、季铵基、醚基、羧酸酯、嵌段聚醚中的至少一种;
所述感光剂的分子结构式为:其中,所述R3、R4中至少有一个包括所述亲水基团。
5.如权利要求4所述的显示面板,其特征在于,所述光阻组合物在加热条件下,所述亲水基团排列在所述光阻组合物靠近亲水性物质的一侧。
6.如权利要求4所述的显示面板,其特征在于,所述光阻组合物还包括界面活性剂以及溶剂。
7.一种显示面板的制备方法,其特征在于,包括:
提供树脂、感光剂、界面活性剂以及溶剂,所述树脂用于和碱性显影液反应,所述树脂中包含亲水基团,所述亲水基团具有亲水性,所述树脂的分子结构式为:其中,所述R1、R2中至少有一个包括所述亲水基团,n为正整数,所述R1包括羧酸基、磺酸基、磷酸基、氨基、季铵基、醚基、羧酸酯、嵌段聚醚中的至少一种,所述感光剂的分子结构式为:其中,所述R3、R4中至少有一个包括所述亲水基团;
将所述树脂、感光剂、界面活性剂与所述溶剂混合,形成溶液;
将所述溶液涂布于衬底表面,形成光阻膜;
将所述光阻膜进行烘烤,使得所述树脂中的亲水基团排列在所述光阻膜靠近所述衬底的一侧,以提高所述光阻膜与所述衬底之间的粘附性;
将所述光阻膜进行显影,形成光阻层。
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