[发明专利]用于薄板激光熔覆的工装底板、工装装置及熔覆方法有效
| 申请号: | 201910369694.9 | 申请日: | 2019-05-05 |
| 公开(公告)号: | CN111893480B | 公开(公告)日: | 2022-07-26 |
| 发明(设计)人: | 赵树森;林学春;张志研;李敏;王奕博;李达;梁浩;刘燕楠;马文浩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号: | C23C24/10 | 分类号: | C23C24/10 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
| 地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 薄板 激光 工装 底板 装置 方法 | ||
1.一种用于薄板激光熔覆的熔覆方法,其特征在于,包括以下步骤:
将待激光熔覆的薄板置于带有热交换通道的工装底板上,将压板压在所述薄板上,对所述薄板实施夹紧;
将熔覆用粉末通过埋设在所述工装底板中的热交换通道输送到激光熔覆头的粉末喷嘴上;
执行激光熔覆操作,激光产生的热量通过所述工装底板与热交换通道中流动的载粉气体、熔覆用粉末进行热交换。
2.根据权利要求1所述的熔覆方法,其特征在于,所述热交换通道中流动的载粉气体为氩气、氮气和/或氦气,载粉气体的流量控制在3-10 L/min。
3.根据权利要求1所述的熔覆方法,其特征在于,所述激光熔覆头的粉末喷嘴采用侧向送粉或同轴送粉,即粉末流轴心与激光束轴心重合。
4.根据权利要求1所述的熔覆方法,其特征在于,在激光熔覆过程中,激光束是连续激光或脉冲激光。
5.根据权利要求1所述的熔覆方法,其特征在于,熔覆用粉末包括金属粉末、合金粉末和/或非金属粉末,粉末直径分布为2-100μm。
6.一种激光熔覆工装装置,包括:
激光熔覆头,用于发射激光使施加在待激光熔覆的薄板上的熔覆用粉末熔化形成涂层;
压板和工装底板,用于将待激光熔覆的薄板夹在中间;
其特征在于,所述工装底板上设置有热交换通道,所述热交换通道是通过在作为整体的所述工装底板上钻孔加工形成,或者通过分体各自加工后装配得到;且熔覆用粉末通过埋设在所述工装底板中的热交换通道输送到所述激光熔覆头的粉末喷嘴上;
所述热交换通道中有载粉气体与粉末快速流动。
7.根据权利要求6所述的激光熔覆工装装置,其特征在于,所述热交换通道是直线通道或任意曲线通道。
8.根据权利要求6所述的激光熔覆工装装置,其特征在于,所述热交换通道是一条热交换通道或多条热交换通道。
9.根据权利要求6所述的激光熔覆工装装置,其特征在于,所述热交换通道中装配导热性能优良的铜管、铝管或碳纤维管,所述铜管、铝管或碳纤维管通过过盈配合置于热交换通道中,或通过钎焊剂粘接于热交换通道中。
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