[发明专利]一种基于图像识别的芯片检测装置

说明书

本发明涉及检测设备领域，具体涉及一种基于图像识别的芯片检测装置，包括底座和控制台，还包括输送机、检测机构和排出机构，所述排出机构包括倒“L”形支撑板、夹取组件和滑道，所述倒“L”形支撑板呈竖直设在底座的顶部，并且其底部与底座的顶部固定连接，所述夹取组件活动设在倒“L”形支撑板的一个侧壁上，所述滑道倾斜设置在倒“L”形支撑板的旁侧，本发明的一种基于图像识别的芯片检测装置用在镜检工作之前，通过图像识别原理可减少芯片批量生产中的不良品数量，在减小了镜检工作人员工作强度的同时，也降低了芯片检测中的错误发生概率，从而提高了工作效率，进一步提高了芯片质量，增加收益。

技术领域

本发明涉及检测设备领域，具体涉及一种基于图像识别的芯片检测装置。

背景技术

芯片为半导体元件产品的总称，又称集成电路，或称微电路、微芯片、晶片/芯片在电子学中是一种把电路（主要包括半导体设备，也包括被动组件等）小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上。仅仅在其开发后半个世纪，集成电路变得无处不在，计算机、手机和其他数字电器成为社会结构不可缺少的一部分。这是因为，现代计算、交流、制造和交通系统，包括互联网，全都依赖于集成电路的存在。甚至很多学者认为有集成电路带来的数字革命是人类历史中最重要的事件。IC的成熟将会带来科技的大跃进，不论是在设计的技术上，或是半导体的工艺突破，两者都是息息相关，因此对于芯片的加工制造要求日益提高，但芯片的工艺生产步骤尤为繁多，其中一个重要的工艺步骤便是镜检，以排除一些芯片中的不良品，但是通常都会由镜检工作人员通过高倍显微镜进行检查，长时间的工作不仅会使得镜检人员肉眼疲劳，工作强度和伤害也比较大，同时忙中容易出错，因此需要设计一种基于图像识别的芯片检测装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基于图像识别的芯片检测装置。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

提供一种基于图像识别的芯片检测装置，包括底座和控制台，所述底座呈水平设置，所述控制台通过第一支撑杆设在底座上，还包括输送机、检测机构和排出机构，所述输送机设置在底座的顶部以上料待检测的芯片，所述检测机构呈竖直设置在输送机的宽度方向上的一侧以检测芯片不良品，所述排出机构设在底座宽度方向上的另一侧以将芯片不良品排出于输送机上，所述排出机构包括倒“L”形支撑板、夹取组件和滑道，所述倒“L”形支撑板呈竖直设在底座的顶部，并且其底部与底座的顶部固定连接，所述夹取组件活动设在倒“L”形支撑板的一个侧壁上，所述滑道倾斜设置在倒“L”形支撑板的旁侧。

作为芯片检测装置的一种优选方案，所述检测机构包括工业相机、漫散射光源和两个支撑柱，两个所述支撑柱呈竖直间隔状态设置在底座的顶部，并且其底部通过支撑底座与底座的顶部固定连接，所述支撑柱上间隔设置有第一支撑板和第二支撑板，并且所述第一支撑板位于第二支撑板的上方，所述工业相机通过第一固定板设在第一支撑板顶部的宽度方向上的一端，所述漫散射光源通过第二固定板设在第二支撑板顶部的宽度方向上的一端，所述工业相机与漫散射光源轴线方向一致并且二者均位于输送机的正上方，所述第二固定板靠近输送机的的一端设有可供工业相机照射芯片的通孔。

作为芯片检测装置的一种优选方案，所述倒“L”形支撑板的一端侧壁上水平且固定的设置有一个滑台，所述滑台靠近检测机构的一端通过滑条固定连接有一个“L”形支撑板，所述“L”形支撑板的侧壁上固定连接有两个竖直设置的气缸，并且每个所述气缸的输出端均朝向输送机，两个所述气缸的输出端固定连接有一个水平设置的条形支撑板，所述条形支撑板的底部与夹取组件的顶部固定连接。

作为芯片检测装置的一种优选方案，所述夹取组件包括承托罩、齿条和两个齿轮，所述承托罩竖直设在条形支撑板的正下方，所述齿条插设在承托罩的内部，并且其顶部与条形支撑板的底部固定连接，承托罩的顶部设有可供齿条插入的插孔，两个所述齿轮可转动的设置在承托罩的内部，并且两个齿轮对称设置，所述齿条与两个齿轮啮合连接，每个所述齿轮上均设一体成型设置有一个夹爪。