[发明专利]一种微型压力变色传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种微型压力变色传感器，其特征在于：包括柔性基底、微型宽带光源和微米光波导，所述微型宽带光源和微米光波导封装于柔性基底内，所述微米光波导具有输入端、输出端和环形腔，所述环形腔位于输入端和输出端之间，所述微米光波导的输入端对应放置于微型宽带光源的有源区出光面。

2.根据权利要求1所述的一种微型压力变色传感器，其特征在于：所述环形腔为结型环形腔。

3.根据权利要求1所述的一种微型压力变色传感器，其特征在于：所述柔性基底包括基片和盖片，所述微型宽带光源与微米光波导固装于基片上，所述盖片覆设于基片上。

4.根据权利要求1所述的一种微型压力变色传感器，其特征在于：所述环形腔的直径尺寸范围为40～200μm。

5.根据权利要求1所述的一种微型压力变色传感器，其特征在于：所述柔性基底为石墨烯基底。

6.根据权利要求1所述的一种微型压力变色传感器，其特征在于：所述微米光波导的直径为2～10μm，其长度为1～3cm。

7.根据权利要求1所述的一种微型压力变色传感器，其特征在于：所述微米光波导为微米光纤或高分子聚合物微米线。

8.根据权利要求1所述的一种微型压力变色传感器，其特征在于：所述微型宽带光源为白光二极管。

9.一种微型压力变色传感器的制备方法，其特征在于：取一根微米光波导，在光学显微镜下，通过微纳操作在微米光波导上制作出环形腔；再将微米光波导的输入端对应放置于一微型宽带光源的有源区出光面以输入宽带光，使微米光波导的输出端输出相应的单色光；最后，采用柔性基底对所述微米光波导和微型宽带光源进行封装。

10.根据权利要求9所述的一种微型压力变色传感器的制备方法，其特征在于：所述通过微纳操作在微米光波导上制作出环形腔是指通过微纳操作将微米光波导打结形成所述环形腔。