[发明专利]固定连接部件、研磨头组件及抛光设备

权利要求书

1.一种研磨头组件，其特征在于，包括：

上研磨头单元；

下研磨头单元，位于所述上研磨头单元的下方，且与所述上研磨头单元之间具有间隙；所述下研磨头单元包括下研磨头本体及抛光布固定盘，所述抛光布固定盘位于所述下研磨头本体的下表面；及

固定连接部件，所述固定连接部件包括内六角紧固件及外六角治具，所述外六角治具与所述内六角紧固件相连接，且至少部分位于所述内六角紧固件的顶部；所述内六角紧固件包括第一螺杆及内六角螺丝头，所述内六角螺丝头内设有上下延伸的螺纹孔，所述螺纹孔内设有内螺纹；所述外六角治具包括外六角螺丝及保护环，所述外六角螺丝包括第二螺杆及与所述第二螺杆顶部固定连接的外六角螺丝头，所述第二螺杆的直径与所述螺纹孔的直径相同，所述外六角螺丝头的直径大于所述第二螺杆的直径，所述第二螺杆上设有与所述螺纹孔内的所述内螺纹相匹配的外螺纹，所述第二螺杆旋置于所述螺纹孔内，所述保护环设置于所述外六角螺丝头及所述第二螺杆的外围，且所述保护环沿厚度方向自所述外六角螺丝头的顶部延伸至所述第二螺杆的底部；所述保护环的内径与所述外六角螺丝头的直径相同，且不小于所述内六角螺丝头的直径；

所述内六角紧固件部分旋置于所述下研磨头单元内，以将所述抛光布固定盘与所述下研磨头本体可拆卸连接；所述下研磨头本体的上表面形成有多个沿所述下研磨头本体的周向间隔排布的凹陷部，所述凹陷部内设有固定孔，所述固定连接部件一一对应设置于所述固定孔内；

软橡胶涂层，所述软橡胶涂层位于所述抛光布固定盘的下表面。

2.一种抛光设备，其特征在于，包括：

如权利要求1中所述的研磨头组件；

抛光布，所述抛光布位于所述抛光布固定盘的下表面；及，

晶圆承载盘，所述晶圆承载盘位于所述抛光布的下方。

3.根据权利要求2所述的抛光设备，其特征在于：所述抛光设备还包括驱动装置，所述驱动装置与所述上研磨头单元相连接，用于带动所述研磨头组件旋转。

4.根据权利要求2所述的抛光设备，其特征在于：所述晶圆承载盘包括真空吸附盘。