[发明专利]一种新型压电微泵

权利要求书

1.一种新型压电微泵，其特征在于，该压电微泵包括泵壳(1)、压电元件(2)、基板(3)、挠性板(4)和底板(5)，所述泵壳(1)为绝缘体，所述泵壳(1)、基板(3)、挠性板(4)和底板(5)之间依次密封连接，所述泵壳(1)、基板(3)、挠性板(4)围成泵腔(6)，所述泵壳(1)下表面安装有基板(3)，所述基板(3)为导体，所述基板(3)远离泵壳(1)的一面安装有挠性板(4)，所述挠性板(4)远离基板(3)的一面安装有底板(3)，所述基板(3)靠近泵壳(1)的一面安装有压电元件(2)，所述压电元件(2)位于泵腔(6)内且不与泵壳(1)接触；

所述泵壳(1)包括出气口(101)、凹陷(102)和第一电极(103)；

所述泵壳(1)靠近压电元件(2)的一侧开设有凹陷(102)，所述凹陷(102)贯穿壳体(1)开设有出气口(101)，所述壳体(1)侧壁安装有由内至外贯穿壳体(1)的第一电极(103)，所述第一电极(103)为导体。

2.根据权利要求1所述的一种新型压电微泵，其特征在于，所述基板(3)包括变形区(301)、外框(302)、双梁对称悬臂(303)、第一流道(304)和第二电极(305)；

所述变形区(301)边部通过若干个双梁对称悬臂(303)与外框(302)连接，若干个所述双梁对称悬臂(303)均匀的分布在变形区(301)与外框(302)的间隙中，所述变形区(301)远离压电元件(2)的一面设置有延伸至变形区(301)边缘的第一流道(304)，所述外框(302)边部安装有第二电极(305)，所述第二电极(305)位于泵腔(6)外部；

所述双梁对称悬臂(303)包括梁部(3031)和连接部(3032)；

所述梁部(3031)连接在变形区(301)两个分离的连接部(3032)上，所述梁部(3031)在变形区(301)和外框(302)的间隙中沿着变形区(301)外周相对延伸，延伸长度相同，所述梁部(3031)末端分别通过连接部(3032)连接在外框(302)上，所述梁部(3031)用于配合连接部(3032)对变形区(301)和外框(302)进行连接。

3.根据权利要求2所述的一种新型压电微泵，其特征在于，所述基板(3)还包括第一双坡面凸起(306)，所述第一流道(304)上设置有第一双坡面凸起(306)，所述第一双坡面凸起(306)靠近变形区(301)中心坡面的坡度小于远离变形区(301)中心坡面的坡度。

4.根据权利要求1所述的一种新型压电微泵，其特征在于，所述挠性板(4)包括进气口(401)、第一环状凸起(402)、第二环状凸起(403)和避让槽(404)；

所述挠性板(4)弯曲变形最大位移处开设有贯穿挠性板(4)的进气口(401)，所述挠性板(4)边部等距离开设有若干个贯穿挠性板的避让槽(404)，所述挠性板(4)远离压电元件(2)的一面上紧贴进气口(401)边缘安装有第一环状凸起(402)，所述第一环状凸起(402)外侧安装有第二环状凸起(403)，所述第二环状凸起(403)位于挠性板(4)弯曲振动波节处。

5.根据权利要求4所述的一种新型压电微泵，其特征在于，所述挠性板(4)还包括第二双坡面凸起(405)，所述挠性板(4)靠近压电元件(2)的一面设置有第二双坡面凸起(405)，所述第二双坡面凸起(405)靠近进气口(401)中心坡面的坡度小于远离进气口(401)中心坡面的坡度。

6.根据权利要求1所述的一种新型压电微泵，其特征在于，所述底板(5)包括内凹部(501)、第二流道(502)、气孔(503)和沟槽(504)；

所述底板(5)靠近挠性板(4)的一面上设置有内凹部(501)，所述内凹部(501)沿边界切线方向至底板(5)外周开设有若干个第二流道(502)，若干个所述第二流道(502)靠近底板(5)外周的一端贯穿开设有气孔(503)，所述底板(5)靠近挠性板(4)的一面边部还开设有沟槽(504)，所述沟槽(504)与避让槽(404)等大且与避让槽(404)正对设置，所述沟槽(504)与内凹部(501)不连通。