[发明专利]一种用于铁磁性掩膜版的热蒸发镀膜器基板在审
| 申请号： | 201910343684.8 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110129721A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 李文武;许洋;黄凡铭;潘哲成;胡志高;褚君浩 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/26;C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 | 代理人： | 徐筱梅;张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热蒸发镀膜 掩膜版 载物盘 铁磁性 磁力单元 圆形罩壳 按钮开关 开启按钮开关 薄膜样品 繁琐工艺 胶带粘贴 器基板 贴合度 器基 吸附 蒸汽 对准 损伤 | ||
1.一种用于铁磁性掩膜版的热蒸发镀膜器基板，其特征在于，它包括圆形罩壳（1）、按钮开关（2）、磁力单元（3）及圆形载物盘（4）；
所述圆形罩壳（1）内设有螺线管腔（16）、一侧设有开关座（11）、底部设有电池盒（12），电池盒（12）内一端设有阳极金属垫片（13）、另一端设有阴极金属垫片（14）及弹簧（15）；
所述磁力单元（3）由耐高温锂电池（31）及螺线管（32）构成；
所述圆形载物盘（4）扣接或焊接在圆形罩壳（1）顶端；
所述按钮开关（2）为设有第一电极（21）与第二电极（22）的常开式开关，按钮开关（2）设于圆形罩壳（1）的开关座（11）内；
所述磁力单元（3）设于圆形罩壳（1）内，其中，耐高温锂电池（31）设于电池盒（12）内，螺线管（32）设于圆形罩壳（1）的螺线管腔（16）内；
所述耐高温锂电池（31）的一端与电池盒（12）的阳极金属垫片（13）触及、另一端经弹簧（15）与阴极金属垫片（14）触及，螺线管（32）的一端与按钮开关（2）的第一电极（21）连接，螺线管（32）的另一端与电池盒（12）内的阴极金属垫片（14）连接，按钮开关（2）的第二电极（22）与电池盒（12）内阳极金属垫片（13）连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于铁磁性掩膜版的热蒸发镀膜器基板，其特征在于，所述圆形载物盘（4）的直径大于圆形罩壳（2）的外径。
3.根据权利要求1所述的一种用于铁磁性掩膜版的热蒸发镀膜器基板，其特征在于，所述螺线管（32）的轴线过圆形载物盘（4）的圆心。
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