[发明专利]一种燕尾槽导轨滑台测量装置及其测量方法

权利要求书

1.一种燕尾槽导轨滑台测量装置，其特征在于：包括测量平台(1)、长度测量组件(2)和角度测量组件(3)，所述长度测量组件(2)包括横测量板(21)、竖测量板(22)、信号调理器(25)和计算机(27)，所述横测量板(21)沿Z方向滑动设置在测量平台(1)上，所述竖测量板(22)沿X方向滑动设置在横测量板(21)上，所述横测量板(21)上固定设置有第一距离传感器(23)，所述竖测量板(22)上固定设置有第二距离传感器(24)，所述信号调理器(25)用于接收第一距离传感器(23)和第二距离传感器(24)传送的电信号，并进行电信号的放大和过滤，所述信号调理器(25)通过数据采集卡(26)与所述计算机(27)信号连接；

所述角度测量组件(3)包括转动件(35)、激光发射器(32)、衍射图像接收器件(33)和信号处理模块(34)，所述转动件(35)设置在测量平台(1)上，且其位于长度测量组件(2)的下方，所述转动件(35)用于驱动激光发射器(32)绕Y轴转动；所述激光发射器(32)用于将其产生的激光照射至待检测燕尾槽(411)或者燕尾滑台(42)的斜面上，使待检测斜面产生衍射图像信号；所述衍射图像接收器件(33)用于接收所述衍射图像信号并将其转换为电信号；所述信号处理模块(34)用于接收衍射图像接收器件(33)所传递的电信号，并对该电信号进行处理分析，从而判断衍射图像接收器件(33)是否接收到衍射图像信号；所述转动件(35)上设置有用于检测激光发射器(32)转动角度的角度传感器(31)，所述角度传感器(31)与信号调理器(25)信号连接；

所述转动件(35)包括第一基座(351)、第二基座(352)、第一转轴(353)和第二转轴(354)，所述测量平台(1)的下部开设有容纳腔(12)，所述容纳腔(12)的开口与横测量板(21)的朝向相同，所述第一基座(351)固定设置在容纳腔(12)内，所述第一转轴(353)绕Y方向与第一基座(351)转动连接，所述第二基座(352)和角度传感器(31)均固定设置在第一转轴(353)上，所述第二转轴(354)绕X方向转动设置在第二基座(352)上，所述激光发射器(32)固定设置在第二转轴(354)上；所述衍射图像接收器件(33)固定设置在容纳腔(12)内，所述衍射图像接收器件(33)和激光发射器(32)沿Y方向分布，且所述激光发射器(32)偏向衍射图像接收器件(33)。

2.根据权利要求1所述的燕尾槽导轨滑台测量装置，其特征在于：所述第一转轴(353)由步进电机驱动转动，其转动范围为0°～90°。

3.根据权利要求1所述的燕尾槽导轨滑台测量装置，其特征在于：所述信号处理模块(34)包括信号采集器(341)、二值化处理器(342)和信号处理器(343)，所述衍射图像接收器件(33)、信号采集器(341)、二值化处理器(342)、信号处理器(343)和计算机(27)依次信号连接，所述信号采集器(341)接收衍射图像接收器件(33)所传递的电信号后经过二值化处理器(342)进行二值化处理，然后传送至信号处理器(343)进行信号处理分析，从而判断衍射图像接收器件(33)是否接收到衍射图像信号。

4.根据权利要求3所述的燕尾槽导轨滑台测量装置，其特征在于：所述信号处理器(343)选用ARM处理器。

5.根据权利要求1所述的燕尾槽导轨滑台测量装置，其特征在于：所述激光发射器(32)选用He-Ne激光发射器。

6.根据权利要求1或5所述的燕尾槽导轨滑台测量装置，其特征在于：所述衍射图像接收器件(33)选用光敏列阵器件。

7.根据权利要求1所述的燕尾槽导轨滑台测量装置，其特征在于：所述信号调理器(25)包括信号放大器(251)和信号滤波器(252)，所述数据采集卡(26)包括A/D转换器(261)，所述信号放大器(251)、信号滤波器(252)、A/D转换器(261)和计算机(27)依次信号连接。