[发明专利]测量电路、测量系统及热物性参数测量方法

说明书

本申请提供一种测量电路、测量系统及热物性参数测量方法。该测量电路包括：第一放大电路、第二放大电路、差分放大电路、可调电阻器及电子乘法器。第一放大电路、第二放大电路的输出端中的至少一个通过电子乘法器与差分放大电路的输入端连接；可调电阻器用于在测量前调节两个输入端的基频电压差，以使测量前的基频电压差小于或等于第一预设阈值，电子乘法器用于在测量时调节与电子乘法器连接的输入端的基频电压，以使差分放大器的两个输入端的基频电压差小于或等于第二预设阈值，第二预设阈值小于第一预设阈值，差分放大电路用于测量基频电压及三次谐波电压，能够提高测量的三次谐波电压的精度，改善因基频电压导致热物性测量精度低的技术问题。

技术领域

本发明涉及热物性测量技术领域，具体而言，涉及一种测量电路、测量系统及热物性参数测量方法。

背景技术

随着现代技术的不断发展，电子器件对运行的温度环境的要求越来越多样化，电子器件在运行时通常需要配合热管理以保障电子器件的正常运行。热管理与形成电子器件的材料的热物性相关。在现有技术中，在测量材料的热物性时，通常是用一条沉积在样品本体上的金属丝同时作为加热器，对金属丝通入一定频率的交流电流，然后测量金属丝两端的电压。所测得的电压通常包括基频电压和谐波电压，然后基于3ω法，利用谐波电压测量样品的热物性，而基频电压容易影响测量结果的精度。

发明内容

本申请提供一种测量电路、测量系统及热物性参数测量方法，能够改善因基频电压导致热物性测量精度低的技术问题。

为了实现上述目的，本申请实施例所提供的技术方案如下所示：

第一方面，本申请实施例提供一种测量电路，所述测量电路包括：第一放大电路、第二放大电路、差分放大电路、可调电阻器及电子乘法器；所述第一放大电路的输出端、所述第二放大电路的输出端分别与所述差分放大电路的两个输入端连接，其中，所述第一放大电路的输出端、所述第二放大电路的输出端中的至少一个通过所述电子乘法器与所述差分放大电路的输入端连接；在测量时，所述第一放大电路的两个输入端用于分别与待测样品的第一电极、第二电极连接；所述待测样品的第三电极、第四电极用于与交流信号源连接，所述差分放大电路用于测量所述差分放大电路的两个输入端的基频电压及三次谐波电压，其中，所述可调电阻器用于在测量前调节所述两个输入端的基频电压差，以使测量前的所述基频电压差小于或等于第一预设阈值，所述电子乘法器用于在测量时调节与所述电子乘法器连接的所述差分放大电路的输入端的基频电压，以使所述差分放大电路的两个输入端的基频电压差小于或等于第二预设阈值，所述第二预设阈值小于所述第一预设阈值。

基于此，在可调电阻器初步调节的基础上，利用电子乘法器再次减弱或消除基频电压对所采集的三次谐波电压的影响，有助于提高所采集的三次谐波电压的精度，从而有助于提高通过利用三次谐波电压计算得到的待测样品的热物性的精度，改善因基频电压导致热物性测量精度低的技术问题。

结合第一方面，在一些可选的实施方式中，所述第一放大电路包括第一放大器，所述第二放大电路包括第二放大器，所述差分放大电路包括差分放大器；所述第一放大器的输出端、所述第二放大器的输出端分别与所述差分放大器的两个输入端连接，其中，所述第一放大器的输出端、所述第二放大器的输出端中的至少一个通过所述电子乘法器与所述差分放大器的输入端连接；所述第一放大器的两个输入端用于分别与待测样品的第一电极、第二电极连接；所述第二放大器的两个输入端分别与所述可调电阻器的第一端、第二端连接，所述可调电阻器的第一端用于与所述待测样品的第三电极连接，所述可调电阻器的第二端与所述差分放大器的输出端及所述电子乘法器的一端连接；所述差分放大器的接地端用于与所述待测样品的第四电极连接并接地。

基于此，第一放大器、第二放大器可以用于实现信号的放大，差分放大器可以用于对第一放大器、第二放大器输入的信号进行差分处理并放大，有助于基频电压差、三次谐波电压等信号的提取。