[发明专利]板处理装置及板处理方法

说明书

本发明提供一种针对被加工板的两个面能够彼此对位后进行处理的板处理装置。打标部对支承于工作台上的被加工板的朝向工作台的面赋予标记。处理部对支承于工作台上的被加工板的朝向与工作台相反一侧的面进行处理，并且对处理结果与打标部赋予给朝向工作台的面上的标记的位置建立对应关联。而且，处理部检测形成于朝向与工作台相反一侧的面上的标记，并基于检测到的标记的位置对朝向与工作台相反一侧的面进行处理。

本申请主张基于2018年5月8日申请的日本专利申请第2018-090122号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种板处理装置及板处理方法。

背景技术

已知有一种对金属板实施蚀刻加工从而在金属板上形成开口的技术。以下，对现有的蚀刻加工的工法进行说明。

在不锈钢或铜等金属板的两个面粘贴干膜抗蚀剂。经由光掩模使干膜抗蚀剂感光之后，通过显影留存抗蚀剂图案。分别留存于金属板的两个面上的抗蚀剂图案相同，且彼此对位。将所留存的抗蚀剂图案作为蚀刻掩模，从两个面蚀刻金属板。蚀刻后剥离抗蚀剂图案。

在现有的蚀刻加工中，在蚀刻掩模的形成中使用了光刻工法。在该工法中，需要按照每一个蚀刻图案制作光掩模，因此难以实现低成本化。并且，光掩模的维持管理也需要花费时间和劳力。而且，由于需要制作光掩模，因此难以缩短交付期。

为了使分别留存于金属板的两个面上的抗蚀剂图案彼此对位，利用金属板的边缘。例如，在下述专利文献1中公开了一种拍摄矩形基板的角部并进行图像处理并将角部的位置作为基准进行网版印刷的技术。

专利文献1：日本特开2014-205286号公报

在被加工板的端面倾斜的情况下，基于从前表面侧拍摄的角部的图像检测到的顶点与基于从背面侧拍摄的角部的图像检测到的顶点不一致。此时，若以顶点的位置作为基准而形成抗蚀剂图案，则会导致形成于前表面侧的抗蚀剂图案相对于形成于背面侧的抗蚀剂图案产生偏移。

发明内容

本发明的目的在于提供一种针对被加工板的两个面能够彼此对位后进行处理的板处理装置及板处理方法。

根据本发明的一种观点，提供一种板处理装置，其具有：

打标部，对支承于工作台上的被加工板的朝向该工作台的面赋予标记；及

处理部，对支承于所述工作台上的被加工板的朝向与所述工作台相反一侧的面进行处理，并且将处理结果与所述打标部赋予给朝向该工作台的面上的标记的位置建立对应关联，而且，检测出形成于朝向与所述工作台相反一侧的面上的标记，并基于检测到的标记的位置对朝向与所述工作台相反一侧的面进行处理。

根据本发明的另一种观点，提供一种板处理方法，其具有如下工序：

在被加工板的第1面上形成标记的工序；

基于形成于所述第1面上的所述标记的位置，对所述被加工板的与所述第1面相反一侧的第2面进行处理的工序；及

在所述第1面上形成所述标记之后，基于所述标记的位置，对所述被加工板的所述第1面进行处理的工序。

通过形成于被加工板的一个面上的标记的位置，能够使一个面的处理与另一个面的处理对位。

附图说明

图1是基于实施例的板处理装置的概略图。

图2A是支承有被加工板的工作台的俯视图，图2B是图2A的单点划线2B-2B处的剖视图。

图3A及图3B是打标部的概略剖视图，图3C及图3D分别为形成有标记的状态的被加工板的剖视图及仰视图。

图4是基于实施例的板处理方法的流程图。