[发明专利]用于监测隔振基座的系统

说明书

本公开涉及用于监测隔振基座的系统，在用于监测隔振基座的系统中，该系统包括用于监测供应至隔振基座的空气底座的空气压力的空气压力监测系统，其中，空气压力监测系统包括多个空气端口、多个压力传感器、控制单元以及通知单元，其中，多个空气端口配置成接收待供应至空气底座的空气，压力传感器中的每个配置成测量供应至空气端口中的相应空气端口的空气的压力并将所测量的压力输出为感测信号，控制单元配置成从压力传感器中的每个接收感测信号并根据压力传感器中的每个的测量值输出控制信号，通知单元配置成根据控制单元的控制信号进行操作。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年4月26日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0048730号韩国专利申请的优先权和权益，所述韩国专利申请的公开内容通过引用以其整体并入本文。

技术领域

本公开的一些示例性实施方式的方面涉及用于监测隔振基座的系统。

背景技术

通常，在制造诸如半导体和OLED的超精密产品的过程中，对于与产品生产相关的大多数设备(例如，测量设备、抛光装置等)，将环境振动保持在最低限度是非常重要的。这是为了确保高质量的产品。为此，可以利用使用空气底座的隔振基座。例如，应用气动弹簧作为空气底座的技术可用作与隔振基座相关的技术。

然而，利用以上技术，上部部分中的工作人员将可能无法识别与空气底座对应的气动弹簧中的异常，或者由于在下部部分上的非计划工作期间的粗心而引起的气动弹簧的损坏。因此，这可引起事故并显著降低调平和隔振操作的可靠性。

此外，因超过极限的位移而导致的过度提升可严重危害工作人员的安全并导致所安装设备的故障或损坏。

本说明书的背景技术部分包括旨在为示例性实施方式提供上下文的信息，并且本背景部分中的信息不一定构成现有技术。

发明内容

本公开的一些示例性实施方式的方面涉及用于监测隔振基座的系统。根据一些示例性实施方式，所述系统可以使生产线操作者能够迅速地识别空气底座的空气供应的异常，空气底座的机械部件的异常或者由于工作人员的粗心而导致的空气底座的错误操作，从而防止或减少精密生产设备的故障情况，防止或减少产品制造缺陷的情况，确保或改善工作人员的安全和对精密设备的保护，以及防止或减少二次事故的情况。

一些示例性实施方式可使工作人员能够迅速地识别空气底座的空气供应的异常或空气底座的损坏，从而确保或改善工作人员的安全，防止或减少事故，并且使得能够迅速采取后续措施以确保调平和隔振操作的可靠性。

一些示例性实施方式可防止或减少由于超出极限的位移而导致的过度提升的情况，从而确保或改善工作人员的安全，并且使得可以实时识别和防止(或减少)所安装的设备的故障(的情况)。

然而，本公开的方面不限于本文中阐述的方面。对于本公开所属领域的普通技术人员而言，通过参考以下给出的本公开的详细描述，本公开的以上和其它方面将变得更加明显。

根据本公开的一些示例性实施方式的方面，提供了用于监测隔振基座的系统。该系统包括空气压力监测系统，该空气压力监测系统用于监测供应至隔振基座的空气底座的空气压力，其中，空气压力监测系统包括多个空气端口、多个压力传感器、控制单元以及通知单元，其中，多个空气端口接收待供应至空气底座的空气，多个压力传感器各自测量供应至空气端口中的相应空气端口的空气的压力并将所测量的压力输出为感测信号，控制单元从压力传感器中的每个接收感测信号并根据压力传感器中的每个的测量值输出控制信号，通知单元根据控制单元的控制信号进行操作。