[发明专利]一种真空设备的抽气系统

权利要求书

1.一种真空设备的抽气系统，其特征在于，包括方环形气腔，真空泵，连接部件和控制元件，所述方环形气腔与所述真空泵通过所述连接部件相连接，所述控制元件对系统的流量和开关进行控制，

所述方环形气腔包括气腔上盖、气腔下托、匀气内衬，所述气腔上盖与所述气腔下托上下贴合，并与所述匀气内衬配合，

所述气腔下托的四角均匀分布有4n个直径相同的孔道，n＝1,2,3……，所述匀气内衬的周圈均匀分布多个直径相同的细小匀气孔，

所述连接部件包括偶数个硬管道，所述硬管道的数量是所述孔道数量的1/2，每个硬管道包括对称设置的两个进气口，分别与两个所述孔道对应相连接，所述硬管道的出气口汇聚至一个抽气管道后，与所述真空泵相连接。

2.根据权利要求1所述的真空设备的抽气系统，其特征在于，

所述孔道的总面积大于所述匀气孔的总面积。

3.根据权利要求1或2所述的真空设备的抽气系统，其特征在于，

所述硬管道的出气口通过三通法兰汇聚至所述抽气管道。

4.根据权利要求1或2所述的真空设备的抽气系统，其特征在于，

所述真空泵是干泵、分子泵、冷泵或其并联组合。

5.根据权利要求1或2所述的真空设备的抽气系统，其特征在于，

所述控制元件包括真空计、压力保护开关及调压阀。

6.根据权利要求1或2所述的真空设备的抽气系统，其特征在于，

所述硬管道的进气孔分别位于一个正方形的四个角。

7.根据权利要求1或2所述的真空设备的抽气系统，其特征在于，

还包括慢抽装置，其包括慢抽管路及阀，所述慢抽管路的一端与所述硬管道相连接，另一端与所述真空泵相连接。