[发明专利]一种半椭球反射面的光学性能综合评价方法

权利要求书

1.一种半椭球反射面的光学性能综合评价方法，包括整体面形检测和反射率测量，其特征在于：

a、整体面形检测的过程如下：

在半椭球焦点A处放置漫透射板(2)；在半椭球焦点B处放置第一相机(3)；经过扩束准直的激光(4)被分束镜(5)分光，分束镜(5)反射光入射至漫透射板(2)，经散射后到达半椭球反射面(1)，由半椭球反射面(1)反射汇聚至第一相机(3)；在分束镜透射光路上与焦点A等光程处摆放第二相机(6)；

第二相机(6)拍摄入射光斑；第一相机(3)拍摄光斑共轭像；对比入射光斑与光斑共轭像，根据共轭像失真、模糊程度，对面形精度和表面粗糙度进行综合评价；

b、所述反射率测量包括局部反射率测量和总反射率测量；其中：

b1)局部反射率测量的过程如下：

设置透镜或透镜组(7)，其焦点与半椭球反射面(1)的焦点A重合，并在焦点B放置探测组件；经过扩束准直的激光(4)通过透镜或透镜组(7)聚焦至焦点A，然后再发散至半椭球反射面(1)的待测区，经待测区反射汇聚进入焦点B处的探测组件(8)；探测组件(8)测量得到的光功率与入射光功率之比即为局部反射率；

根据检测需要，调节激光(4)的入射角度与透镜或透镜组(7)的位置，得到关注部位的局部反射率；

b2)总反射率测量的过程如下：

将漫透射板(2)置于焦点A、探测组件放置于焦点B，经过扩束准直的激光(4)入射到漫透射板(2)，经散射后到达半椭球反射面(1)，由半椭球反射面(1)反射汇聚进入探测组件(8)，探测组件(8)测量得到的光功率与入射光功率之比乘以漫透射板(2)的透过率即为总反射率。

2.根据权利要求1所述的半椭球反射面的光学性能综合评价方法，其特征在于：所述整体面形检测，在漫透射板(2)上绘制或铺设不透光的靶标图案，相应的将激光(4)更换为均匀照明光，通过对比靶标图案与共轭像，对面形精度和表面粗糙度进行综合评价。

3.根据权利要求1所述的半椭球反射面的光学性能综合评价方法，其特征在于：所述局部反射率测量的过程中，通过选用不同焦距的透镜或透镜组，调整检测面积的大小。

4.根据权利要求1所述的半椭球反射面的光学性能综合评价方法，其特征在于：所述整体面形检测、反射率测量涉及的激光分别采用所关注波长或波段的激光，配套相应的相机、探测组件。

5.根据权利要求1所述的半椭球反射面的光学性能综合评价方法，其特征在于：对于反射率测量，所述探测组件(8)包括集光积分球(9)、取样积分球(10)和光探测器(11)；集光积分球(9)的入口位于焦点B处，集光积分球(9)的出口与取样积分球(10)的入口接通，取样积分球(10)内设置有积分球挡片；光探测器(11)设置于取样积分球(10)的出口处；所述集光积分球(9)用于收集汇聚光并进行初步匀化，取样积分球(10)用于对从集光积分球(9)出射的光进行二次匀化与取样，光探测器(11)用于光信号测量。

6.根据权利要求5所述的半椭球反射面的光学性能综合评价方法，其特征在于：所述集光积分球(9)的入口口径可调。