[发明专利]一种光伏电池及从多层晶片中分离出光伏电池的方法有效
| 申请号: | 201910318318.7 | 申请日: | 2019-04-19 |
| 公开(公告)号: | CN110034205B | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
| 发明(设计)人: | 刘涛;何桂英 | 申请(专利权)人: | 协鑫集成科技股份有限公司;协鑫集成科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/0747 | 分类号: | H01L31/0747;H01L31/20 |
| 代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 陆金星;姚惠菱 |
| 地址: | 201400 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 电池 多层 晶片 分离 出光伏 方法 | ||
1.一种光伏电池,其具有正面、背面以及侧面并包括硅衬底和硅发射极,所述侧面包括激光烧蚀面和断开面,所述硅衬底中含有第一掺杂剂,所述硅发射极中含有第二掺杂剂,其特征在于,所述光伏电池具有自其激光烧蚀面向其内部延伸的掺杂层,所述掺杂层含有所述第一掺杂剂并与所述硅衬底之间形成结。
2.如权利要求1所述的光伏电池,其特征在于,所述掺杂层为高浓度掺杂层。
3.如权利要求1所述的光伏电池,其特征在于,所述激光烧蚀面延伸至所述光伏电池的背面,所述断开面延伸至所述光伏电池的正面。
4.如权利要求1所述的光伏电池,其特征在于,所述激光烧蚀面和/或所述断开面还设有钝化层。
5.如权利要求1所述的光伏电池,其特征在于,所述结为同质结。
6.如权利要求1所述的光伏电池,其特征在于,所述硅衬底为单晶硅。
7.如权利要求1所述的光伏电池,其特征在于,所述硅发射极为非晶硅。
8.一种从多层晶片中分离出光伏电池的方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1)提供一多层晶片,所述多层晶片包括至少两个区段,每个所述区段具有正面和背面并包括硅衬底和硅发射极,所述硅衬底中含有第一掺杂剂,所述硅发射极中含有第二掺杂剂;
(2)确定相邻两个所述区段的正面之间和/或位于相邻两个所述区段的背面之间为划片起始位置;
(3)使用包含第一掺杂剂的掺杂剂源接触所述划片起始位置并形成掺杂表面;
(4)使用激光自所述划片起始位置开始沿所述多层晶片的厚度方向移除部分材料并使每个所述区段的侧面形成激光烧蚀面,同时激光将所述第一掺杂剂驱动至所述多层晶片的内部并使每个所述区段的侧面形成自其激光烧蚀面延伸至其内部的掺杂层;
(5)使用外力自划片终点位置开始沿所述多层晶片的厚度方向继续断开所述多层晶片并使每个所述区段的侧面形成断开面;
相邻两个所述区段中,至少一者为如权利要求1-7任一所述的光伏电池。
9.如权利要求8所述的方法,其特征在于,步骤(4)中,多次用形成所述激光烧蚀面。
10.如权利要求8所述的方法,其特征在于,步骤(5)中,通过折断的方式形成所述断开面。
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