[发明专利]一种派瑞林彩色镀膜工艺及镀膜装置

说明书

本发明公开了一种派瑞林彩色镀膜工艺及镀膜装置，属于化学气相沉积技术领域，派瑞林彩色镀膜工艺的蒸发采用仓外染料蒸发系统和仓内染料蒸发系统，派瑞林彩色镀膜工艺解决了现有技术加工的镀膜材料不易检测的问题，同时成膜特点显现，彩色品种多样化，将彩色染料粉料升华均匀沉积在加工件上，可以清楚而直观的进行检测，该工艺简单、实用、成本低，实用性强，本工艺对各种加工产品均有明显彩色效果，同时具备派瑞林自身的保护效果。

技术领域

本发明涉及一种镀膜工艺及镀膜装置，特别是涉及一种派瑞林彩色镀膜工艺及镀膜装置，属于化学气相沉积技术领域。

背景技术

化学气相沉积法是传统的制备薄膜的技术，广泛应用于半导体工业中多种材料的沉积，包括大范围的绝缘材料、大多数金属材料和金属合金材料，其原理是利用气态的先驱反应物，通过原子、分子间化学反应，使得气态前驱体中的某些成分分解或者相互之间反应，而在基体上沉积形成薄膜。

现有的派瑞林镀膜工艺为派瑞林材料在蒸发室加热气化后，在真空压差的作用下经过裂解室向镀膜室运动，并在裂解室内发生裂解反应，裂解后气体经过管道进入镀膜室后发生聚合反应形成防水、防腐膜层，但现有技术加工的镀膜材料无法用肉眼确认镀膜的包盖类型，为了保证客户在第一时间内对镀膜加工后的产品可靠性、直观的检测加工后的效果，而发明此项工艺技术及装置。

发明内容

本发明的主要目的是为了解决派瑞林镀膜后无法用肉眼直接观察加工后的产品、镀膜材料不易检测的问题，而提供一种派瑞林彩色镀膜工艺及镀膜装置。

本发明的目的可以通过采用如下技术方案达到：

一种派瑞林彩色镀膜工艺，包括如下步骤：

步骤1：将彩色染料粉料装入升华杯中，将密封环密封，将加热环固定在升华杯上，将升华杯通过连接环和真空沉积室连接，并固定，将真空沉积室和加热环连接到加热控制器上；

步骤2：将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；

步骤3：利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20～80℃之间；

步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；

步骤5：镀膜进行到一定时间后，打开升华杯加热开关，并设定加热温度在160-440℃之间；

步骤6：到达设定温度后保持恒温10-60min，使彩色染料粉料在升华杯内深度蒸发，在真空作用下，升华后的升华染料被吸入真空沉积室；

步骤7：升华染料加热到设定时间后，关闭升华染料加热系统，继续镀膜到正常结束；

步骤8：完成后，依次关闭加热电源，静置30min后，打开真空沉积室取出加工件；

步骤9：将加工件放置在检测台上，进行人工检测。

优选的，蒸发采用仓外染料蒸发系统和仓内染料蒸发系统，仓外染料蒸发系统的操作工艺，包括如下步骤：

步骤11：在蒸发初期，先按派瑞林镀膜工艺要求进行升华、裂解、沉积，同时开启升华杯的前加热环，并设定160℃防止派瑞林膜进入升华杯内，造成升华染料升华失败；

步骤12：在步骤11进行一定时间后，开启升华杯的中加热环、加热环、加热片，并分别设定加热温度160℃、260℃、200℃，使其升华杯内染料逐步升华；

步骤13：在派瑞林裂解成单分子与升华染料混合后沉积在加工件上成膜，实现加工件上的彩色效果，并在此设定升华杯蒸发时间，达到控制镀染的效果；

步骤14：在达到一定的镀染效果后，停止升华杯蒸发，关闭中加热环、加热环、加热片，同时保持前加热环的加热温度为120℃，防止镀膜进入升华杯内；