[发明专利]晶圆片盒提篮

说明书

本发明涉及半导体晶圆加工技术领域，尤其是涉及一种晶圆片盒提篮。晶圆片盒提篮包括支撑板、底板和角度调节装置；支撑板和底板围设成晶圆片盒容纳空间；角度调节装置包括导向板、主动调节螺钉和从动调节螺钉；导向板位于底板沿第一方向的一端的上方，导向板沿第二方向的两端分别设置有主动调节螺钉和从动调节螺钉；主动调节螺钉的螺纹端与底板转动连接，从动调节螺钉的螺纹端与底板相抵靠；旋动主动调节螺钉和从动调节螺钉，导向板会沿着主动调节螺钉的轴线方向运动，从而改变导向板与底板之间的距离，晶圆片盒沿第一方向的两端放置于具有高度差的导向板和底板上，从而使晶圆片倾斜一定的角度，使其在清洗时能够达到更好的清洗效果。

技术领域

本发明涉及半导体晶圆加工技术领域，尤其是涉及一种晶圆片盒提篮。

背景技术

随着IC及相关产业的不断扩大和发展，晶圆清洗的工艺要求也越来越高；随着清洗工艺技术的不断提高，越来越多的厂家发现晶圆片盒在某个倾斜角度时进行清洗比平放时的效果要更好，目前全自动晶圆清洗设备的晶圆片盒均为平放，无法使晶圆倾斜一定的角度，并对倾斜角度进行调节；这样大大增加了晶圆在浸泡、清洗过程中的难度，很难达到理想的清洗效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆片盒提篮，以在一定程度上解决现有技术中晶圆在清洗时，晶圆片盒无法调整倾斜角度的技术问题。

本发明提供了一种晶圆片盒提篮，包括支撑板、底板和角度调节装置；所述支撑板环绕所述底板设置并与所述底板相连接，所述支撑板与所述底板围设成晶圆片盒容纳空间；所述角度调节装置位于所述底板上沿第一方向上的一端，所述角度调节装置包括导向板、主动调节螺钉和从动调节螺钉；所述导向板位于所述底板上方，所述导向板上沿第二方向的两端分别对应开设有第一螺纹孔和第二螺纹孔，所述第二方向与所述第一方向相垂直；所述主动调节螺钉穿过所述第一螺纹孔并与所述底板转动连接；所述从动调节螺钉穿过所述第二螺纹孔且所述从动调节螺钉的螺纹端能够与所述底板相抵靠；旋动所述主动调节螺钉和所述从动调节螺钉能够带动所述导向板沿所述调节螺钉的轴线方向运动。

进一步地，所述底板下方设置有固定套；所述底板上开设有通孔，所述主动调节螺钉的尾端能够通过所述通孔穿过所述底板；所述主动调节螺钉的尾端沿其周向设置有凸台部，所述固定套内部开设有与所述凸台部相适配的环形凹槽，所述主动调节螺钉的尾端能够伸入到所述固定套内，且所述凸台部能够嵌入到所述环形凹槽内；所述固定套与所述底板相连接。

进一步地，所述主动调节螺钉和所述从动调节螺钉上均设置有防松螺母。

进一步地，所述底板上设置有导向柱；所述导向柱的轴线方向与所述主动调节螺钉的轴线方向相同，所述导向板上开设有导向孔，所述导向柱能够穿过所述导向孔。

进一步地，所述导向板上还设置有第一限位块；所述第一限位块的数量为两个，两个所述第一限位块位于所述导向板上沿所述第二方向的两端，两个所述第一限位块之间形成第一限位空间，用于对所述晶圆片盒固定限位。

进一步地，所述底板上沿所述第一方向远离所述角度调节装置的一端设置有第二限位块；所述第二限位块的数量为两个，两个所述第二限位块位于所述底板上沿所述第二方向的两端，两个所述第二限位块之间形成第二限位空间，用于对所述晶圆片盒固定限位。

进一步地，所述支撑板包括第一支撑板、第二支撑板和连接板；所述第一支撑板和所述第二支撑板相对设置于所述底板第一方向的两端，并与所述底板相垂直连接；所述连接板沿所述第一方向的两端分别与所述第一支撑板和所述第二支撑板相连接，所述连接板的数量为两块，两块所述连接板分别设置于所述底板沿所述第二方向的两端；所述第一支撑板位于远离所述角度调节装置的一端，所述第一支撑板上设置有定位调节装置，所述定位调节装置包括定位螺钉和定位柱；所述第一支撑板上开设有定位孔，所述定位柱设置于所述第一支撑板上，所述定位柱内开设有内螺纹通孔，所述内螺纹通孔与所述定位孔相连通，所述定位螺钉与所述定位柱相连接，所述定位螺钉的螺纹端能够伸出所述定位孔。